판매용 중고 VARIAN 3290 #9236357

VARIAN 3290 스퍼터링 (sputtering) 장비는 얇은 재료를 기판에 증착하기위한 다재다능한 도구입니다. VARIAN Inc.에서 개발 한 3290은 표준 스퍼터 증착 및 스퍼터 에치 프로세스를 모두 수행 할 수있는 단일 챔버 시스템입니다. 사용하기 쉬운 이온 소스 (ion source) 가 장착되어 있으며, 집중된 아르곤 원자 빔을 사용하여 최대 6cm 직경의 금속 또는 기타 재료 목표를 스퍼터링합니다. VARIAN 3290은 매우 신뢰할 수있는 단위로, 분당 최대 35 나노 미터의 빠른 증착 속도를 허용합니다. 3290 은 증착율, "이온 '전류," 이온' "에너지 '," 가스' 및 압력 조절 과 같은 공정 매개변수 를 잘 조절 해 준다. 기계 의 "컨트롤러 '를 쉽게" 프로그램' 하여 증착 과정 을 정확 히 제어 할 수 있다. 바리안 3290 (VARIAN 3290) 은 또한 자동 플라즈마 클리닝 작업을 통해 스퍼터링 (sputtering) 전에 기판 표면을 청소하는 데 사용될 수 있으며, 도구의 컨트롤러를 통해 쉽게 모니터링 할 수 있습니다. 3290은 in-situ ion 전류 및 온도 측정과 같은 다양한 측정 및 진단을 지원합니다. 이렇게 하면, 도량형 장비 를 추가 할 필요 없이, 박막 을 정확 하고 일관성 있게 증착 할 수 있다. 또한, VARIAN 3290은 전체 목표에 걸쳐 최대 이온화 효율성과 스퍼터 속도 균일성을 제공하도록 설계된 지능형 공정 챔버 (Intelligent Process Chamber) 를 갖추고 있습니다. 3290은 전력 소비량에서도 매우 효율적입니다. 작동하기 위해서는 단 하나의 13 AMP 공급 만 필요하며, 이는 공간이 드문 응용 분야에 적합합니다. 또한, VARIAN 3290의 공정 챔버는 최적의 안전성과 성능을 얻기 위해 쉽게 격리, 밀봉, 환기 될 수 있습니다. 전반적으로 3290 개는 뛰어난 스퍼터링 에셋으로, 빠른 증착률로 고품질 영화를 제공 할 수 있습니다. 강력한 프로세스 제어 기능, 에너지 절약 구성, 표준 스퍼터 증착 (sputter deposition) 및 스퍼터-에치 (sputter-etch) 프로세스를 모두 수행할 수 있습니다. 바리안 3290 (VARIAN 3290) 은 증착 요구에 따라 안정적이고 효율적인 모델을 찾는 사람에게 이상적인 선택입니다.