판매용 중고 VARIAN 3290 #9236354

VARIAN 3290은 다양한 재료 및 응용 프로그램을 위해 설계된 고효율 스퍼터링 장비입니다. 이 시스템에는 가열 기판, 이동식 오븐 적재 가능 설비, 8 표적 스퍼터링 챔버 (sputtering chamber) 등 다양한 기능이 장착되어 있습니다. 가열 된 기판은 최대 400 ° C의 온도를 처리 할 수 있으며, 광범위한 기판 재료에 걸쳐 균일 하고 신뢰할 수있는 필름 특성을 보장합니다. 이동식 오븐 (oven-loadable) 고정장치를 사용하면 기판을 장치 안팎으로 로드하고 언로드할 수 있습니다. 프로그래밍 가능한 난방 (heating chamber) 과 효율적이고 정확한 처리를 위한 직관적인 그래픽 사용자 인터페이스가 특징입니다. 8 표적 스퍼터링 챔버 (sputtering chamber) 는 내부 및 외부 원통형 챔버로 구성되며, 처리 중 순수한 아르곤 가스로 채워집니다. 이를 통해 여러 대상을 동시에 스퍼터링 (sputtering) 할 수 있으며 균일 한 특성을 가진 매우 얇은 필름을 생성 할 수 있습니다. 챔버에는 반복 가능한 진공 환경을 보장하기위한 진공 프로세스 포트도 포함되어 있습니다. 3290은 자기 스퍼터링 기술을 사용하여 균일하고 반복 가능한 필름 프로세스를 생성합니다. ITO, Ni, Cu, Au, aluminide 및 많은 중합체와 같은 재료의 박막을 다양한 기판에 증착 할 수 있습니다. 이 박막은 평면 패널 디스플레이, 평면 패널 터치 스크린, 태양 전지와 같은 다양한 응용 프로그램에서 사용할 수 있습니다. 이 기계는 사용하기 쉽고 유지 관리가 용이하며 반도체, MEMS, 평면 패널 디스플레이, 태양 전지, 광학, 전자 제품, 화학 연구 등 다양한 산업 분야에 적합합니다. 냉각식 콘덴서, 범용 배기 팬, 원격 연동 도구 등 다양한 안전/환경 보호 (Safety/Environmental Protection) 기능을 갖추고 있습니다. VARIAN 3290은 물리적 증기 증착, 자기 스퍼터링, 스퍼터 에칭과 같은 스퍼터링 프로세스를위한 신뢰할 수있는 도구를 제공합니다. 종합적인 기능, 안정적인 성능, 사용 편의성을 갖춘 3290 스퍼터링 에셋 (Sputtering Asset) 은 스퍼터링 프로세스를 위해 안정적이고 효율적인 모델을 찾는 연구원 및 제조업체에 이상적인 선택입니다.