판매용 중고 VARIAN 3290 #9236351

VARIAN 3290은 금속 및 산화물 코팅 응용 분야를 위해 설계된 소형 스퍼터링 장비입니다. 2 개의 3 인치 (7.62cm) 마그네트론 음극과 1 개의 평면 음극을 사용하여 다양한 재료로 얇은 필름과 코트 샘플을 배치합니다. 이 시스템은 복잡하고 넓은 영역 기판에 균일 한 커버리지로 등각 박막 (thin film) 을 증착 할 수 있습니다. 이 장치는 샘플을 코팅하는 데 Autosputtering 프로세스를 사용합니다. 이 프로세스는 고주파 무선 주파수 전원 공급 장치 (High-Frequency Frequency Power Supply) 에 의존하여 반회전 자기장 생성 대상 2 개에 바이어스 전압을 공급하여 표적의 물질을 기판으로 스퍼터팅하는 활력 플라즈마 환경을 만듭니다. 이온화 된 "가스 '나" 아르곤' 을 사용 하여 더 많은 "필름 '특성 과 더 많은 대량 생산 능력 을 제공 한다. 3290은 또한 폐쇄 루프 제어기 (closed loop control machine) 를 장착하여 스퍼터 속도 (sputter rate) 및 균일성 기능을 정확하게 조정 할 수 있습니다. 공정 매개변수 (process parameter) 를 정확하게 제어함으로써, 큰 기판에 균일한 커버리지를 갖는 이상적인 필름 두께 프로파일을 달성 할 수 있습니다. 모든 프로세스 매개변수는 자기장 조정에서 두께 제어에 이르기까지 자동으로 사용됩니다. VARIAN 3290은 고품질 박막 및 코팅을 생산하기위한 귀중한 도구입니다. 이 "코우팅 '은 다양 한" 필름' 과 "코우팅 '을 생산 할 수 있는 간단 하고 효율적 인 방법 을 제공 하기 위하여 설계 되었으며, 훌륭 한 보도 와 등각 결과 가 있다. 이 툴은 또한 대량 생산 애플리케이션을 위한 비용 효율적인 솔루션을 제공하며, 전자, 자동차, 항공 우주, 광학 부품 등 다양한 업종에서 사용할 수 있습니다.