판매용 중고 VARIAN 3290 #9236343

VARIAN 3290은 금속, 산화물, 질화물 및 기타 스퍼터링 된 물질에서 박막 (thin film) 을 기판 또는 표적에 배치하도록 설계된 스퍼터링 장비입니다. 스퍼터링 (Sputtering) 은 반도체 장치 제작에 사용되어 진공 밀봉 챔버 (vacuum-sealed chamber) 에서 기판에 얇은 재료를 증착시키는 과정이다. 3290은 3 개의 소스, 높은 처리량 도구로, 기판 셀을 나란히 사용하여 효율적으로 생산할 수 있습니다. 이 시스템은 약 1x10-7Torr의 챔버 압력으로 작동하며 RF 전원, 온 오프 타임 (on-off time) 및 타겟 기판 전원 구성을 통해 증착율 및 증착 균일성을 조작할 수 있습니다. VARIAN 3290은 다양한 스퍼터 가스로 구성 될 수도 있습니다. 최대 8 인치 크기의 기판을 처리 할 수 있으며, 다양한 응용 프로그램에 적합합니다. 이 장치에는 로봇 로더 (robotic loader) 가 장착되어 있어, 로드 명령 및 원격 작업 실행 시 유연성이 제공되며, 이 기능을 통해 시스템이 무단 실행될 수 있습니다. 3290은 고급 진공 제어, 압력 및 온도 센서, 결함 찾기 기능도 갖추고 있습니다. 이러한 모든 기능을 통해 운영 및 연구 환경에 사용할 수 있습니다. 이 도구는 편리하고 유연한 자동화 제어 기능을 제공하며 뛰어난 결과를 제공합니다. 사용자는 웹 브라우저에서 VARIAN 3290에 액세스하여 원격 구성 및 제어를 사용할 수 있습니다. 또한 실시간 진단을 제공하여 프로세스 최적화를 최적화할 수 있습니다. 또한, 자산은 우수한 균일성 (unifority) 및 증착 성능을 제공하여 다양한 응용 프로그램의 신뢰할 수있는 모델입니다. 요약하자면, 3290은 박막 증착 어플리케이션을 위해 설계된 안정적이고 강력한 스퍼터링 장비입니다. 높은 처리량과 유연한 자동화 기능을 제공하여 효율적이고 정확한 생산성을 제공합니다. 고급 기능과 컨트롤을 통해 연구/생산 수준 (R&D) 애플리케이션에 이상적인 선택이 가능합니다.