판매용 중고 VARIAN 3290 #9236342

VARIAN 3290은 VARIAN Semiconductor Equipment Associates, Inc.에서 제조 한 고급 스퍼터링 장비입니다. 이 시스템은 박막 제작, 복합 반도체 장치 생산, 마이크로 패브라이션 (microfabrication) 등 다양한 응용 분야를 위해 설계되었습니다. 3290은 특허받은 마그네트론 스퍼터링 기술 (magnetron sputtering technology) 과 같은 여러 가지 독특한 기능을 제공하며, 이는 스퍼터링 속도를 높이고 균일성과 접착력이 향상된 박막 층을 생산합니다. 이 장치는 또한 프로세스 제어를 강화하기 위해 프로그래밍 가능한 프로세스 변수 및 엔드 포인트 감지 (end-point detection) 를 갖춘 통합 플라즈마 에치 기능을 갖추고 있습니다. 이 플라즈마 에치 공정은 좁은 참호와 훌륭한 기능을 생산하는 데 사용될 수 있습니다. 또한, VARIAN 3290은 광범위한 전원 공급 장치 덕분에 증착률이 높습니다. 최대 4 개의 스퍼터 소스를 사용하여 6 인치에서 14 인치까지 다양한 챔버 크기를 수용 할 수 있습니다. 조정 가능한 기울기 (tilt) 기능을 사용하면 스퍼터 소스를 기판에서 정확하게 조준 할 수 있습니다. 이 기계는 또한 온도 쿠플 (thermocouple) 및 PID 제어 기능이 통합 된 고속 기판 가열 기능을 가지고 있으며, 온도 조절을 최대 25 ° C까지 할 수 있습니다. 3290 은 또한 고급 컴퓨터 기반 프로세스 제어 툴 (computer-based process control tool) 을 통해 프로세스 개발을 단순화하고 운영자가 실시간 프로세스 데이터와 추세 분석 (trend analysis) 을 통해 최적화를 실현합니다. 또한 디지털 레이저 간섭계 (Digital Laser Interferometer) 자산은 총 두께 정렬 및 균일성을 측정 및 모니터링하는 동시에, 나노미터 수준에서 높은 정확도로 종단점 두께와 레이어 두께를 정확하게 제어할 수 있습니다. 이 모델에는 다양한 안전 기능이 장착되어 있습니다. 2 단계 사용자 인증, 침입자 모니터링, 화재 경보 장비, 온도 과부하 보호 및 ESD/EMI 보호가 있습니다. 또한 VARIAN 3290 시스템은 FDA 표준을 충족하여 매우 안전하고 생산적인 작업 환경을 보장하도록 설계되었습니다. 요약하자면, 3290 스퍼터링 (Sputtering) 장치는 생산능력을 향상시키고 프로세스 제어를 강화하기 위해 다양한 기능을 갖춘 고급 솔루션입니다. 혁신적인 마그네트론 스퍼터링 프로세스, 통합 플라즈마 에치 기능, 다양한 챔버 크기, 조절 가능한 틸트 기능, 고속 기판 가열, 고급 공정 제어 기계, 레이저 간섭계 (laser interferometer) 도구를 통해 다양한 어플리케이션에 이상적인 선택이 가능합니다.