판매용 중고 VARIAN 3290 #9227752

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VARIAN 3290
판매
ID: 9227752
웨이퍼 크기: 6"
PVD System, 6" Configuration: PC (3) PM AC Rack Compressor.
VARIAN 3290 (VARIAN 3290) 은 고품질, 비용 효율적인, 안정적인 박막 증착 기술에 대한 수요 증가를 충족시키기 위해 설계된 고급 스퍼터 코팅 장비입니다. 이 시스템은 스퍼터링 프로세스 전반에 걸쳐 균일 한 코팅 (coating) 을 보장하기 위해 다양한 조정 가능한 매개변수를 갖추고 있습니다. 1 피스 알루미늄 프레임으로 설계되어 뛰어난 안정성과 진동 저항을 보장하며, 정확하고 정밀한 침전물을 보장하는 능동 진동 방지 장치 (Active Vibration-Resistance Control Unit) 가 포함되어 있습니다. 3290 스퍼터 코팅 머신은 프로세스 유연성과 생산 효율성을 위해 2 개의 프로세스 최적화 챔버 구성으로 구성됩니다. 두 개의 챔버 옵션; 표준 (ETC-1) 및 고급 (ETC-2) 은 Magnetron 및 DC 스퍼터링, 플라즈마 강화 이온 빔 증착, 전자 빔 증착 및 열 증발과 같은 다양한 처리 기술을 지원하도록 설계되었습니다. 이 도구는 또한 금속에서 다양한 재료 선택, Ti, Al, Cu 등, 유전체, 유기 재료 및 세라믹에 대한 가공 기술을 지원합니다. 자산은 진공 밀봉 챔버 (vacuum sealed chamber) 와 RF 일치 네트워크로 구성되며 정교한 프로세스 제어 전략을 위해 최대 3 개의 독립 전원으로 구성됩니다. 실시간 그래프, 진단, 문제 해결이 가능한 터치스크린 방식의 제어판으로, 증착 프로세스를 긴밀하고 효율적으로 모니터링할 수 있습니다. VARIAN 3290 (10-11 ~ 10-3 mbar) 의 확장 압력 범위를 통해 고압 및 저압 처리가 모두 가스와 유기체의 사용을 지원할 수 있습니다. 또한 3290 은 롤-투-롤 (roll-to-roll) 시스템, 고급 기판 처리 시스템, 다양한 특수 기능 요구 사항 등 다양한 옵션을 제공합니다. 이 모델은 인쇄 회로 기판, 집적 회로 (integrated circuitry), 평면 패널 디스플레이 (flat panel display), 자기 기록 매체 (magnetic recording media) 와 같은 연구, 프로토타입 또는 대용량 코팅 애플리케이션에 대한 특정 요구에 맞게 맞춤형으로 구성할 수 있습니다. VARIAN 3290은 반복 가능하고 신뢰할 수 있는 프로세스 결과뿐만 아니라, 탁월한 프로세스 이해를 위해 설계되었습니다. 또한, 그 효과와 유연성은 많은 산업, 연구, 소비자 응용 분야에서 인기있는 선택입니다.
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