판매용 중고 VARIAN 3290 #9226265

VARIAN 3290은 박막 코팅의 증착을 가능하게하도록 설계된 건조, 정전기, 고 진공 스퍼터링 장비입니다. 이 시스템은 단일 자체 포함 장치에 직류 (DC), 펄스 변조 직류 (PMDC) 및 무선 주파수 (RF) 의 세 가지 증착 기술을 제공합니다. 이 장치는 코팅 재료의 플라즈마와 진공 챔버 내부에 Ar 가스 (Ar gas) 를 생성하여 작동하며, 이어서 기판을 향해 가속됩니다. 코팅 재료는 일반적으로 티타늄, 크롬, 알루미늄과 같은 합금이지만, 다른 금속 및 비 금속을 사용할 수 있습니다. 스퍼터링 (sputtering) 동안, 플라즈마 봄바드에서 양전하 이온이 표적 물질을 침식시키고, 방출 된 입자 중 일부는 기질의 코팅으로 통합된다. 3290 기계는 펌핑 장치, 전원 공급 장치, 컨트롤러, 다중 대상, RF 도구 및 온도 및 진공 모니터링 장비로 구성됩니다. 응용 프로그램에 따라 2 개 또는 4 개의 마그네트론이 있으며, 각각 전력 등급은 최대 100 와트입니다. "마그네트론 '은" 스퍼터링' 증착 에 필요 한 전압 과 전류 를 공급 하기 위하여 전원 공급 장치 와 연결 된다. 컨트롤러는 조절 가능한 전원 수준, 대상 선택 및 기판 온도 제어를 제공합니다. 이 자산에는 모델 오작동을 방지하기 위해 설계된 몇 가지 안전 기능도 있습니다. 전압은 최대 5kV () 로 제한될 수 있으며, 과열 방지를 위해 전원은 정해진 간격으로 모니터링됩니다. 이 장비 는 또한 "가스 '가 과도 하게 축적 되는 경우 에 안전 하게 작동 할 수 있도록 자동 압력 방출 을 갖추고 있다. VARIAN 3290은 직경 500mm, 무게 최대 50kg의 다양한 기판을 수용하기 위해 여러 크기로 제공됩니다. 또한 사용자 친화적이며, 확장 실행을 위해 특정 시간에 스퍼터링을 허용하도록 프로그래밍 할 수 있습니다. 시스템 및 부품 부품의 이식성 (portability) 은 현장 응용프로그램에 이상적입니다. 전반적으로, 3290은 안정적이고 사용하기 쉬운 고성능 스퍼터링 장치입니다. 여러 가지 재료로 다양한 기판을 채우거나 코팅 (coating) 할 수 있으며, 고급 안전 기능으로 안정적이고 안전한 작동이 가능합니다.