판매용 중고 VARIAN 3290 #9226098

VARIAN 3290 스퍼터링 장비는 높은 처리량 박막 증착을 위한 비용 효율적이고 안정적인 솔루션입니다. 산업 및 실험실 환경 모두에서 사용하도록 설계되었습니다. 직경이 최대 9 인치 인 최대 10 개의 기판을위한 가공 챔버가 특징입니다. 챔버 디자인은 비율과 균일성에 대해 독립적으로 조정 가능한 3 개의 RF/DC 플라즈마 소스로 구성됩니다. 냉각을위한 조정 가능한 물 유량도 있습니다. 이 시스템에는 최대 4 개의 소스 홀더 위치를 가진 소스 배럴 (source barrel) 과 4 개의 소스 홀더 위치를 가진 추출기 배럴 (extractor barrel) 을 포함하여 2 개의 다른 프로세스 선박이 장착되어 있습니다. 소스는 빠르고 쉽게 변경 될 수 있습니다. 3290에는 다양한 전원 및 프로세스 제어 옵션도 있습니다. 이러한 컨트롤은 정확한 박막 증착을 허용합니다. 온도, 압력 및 펌프 속도는 모두 프로그래밍 가능합니다. 압력 과 "펌프 '속도 를 조정 할 수 있도록 외부" 로터' 구동 이 있다. 이렇게 하면 스퍼터된 레이어의 균일성이 보장됩니다. VARIAN 3290에는 다양한 안전 기능도 포함되어 있습니다. 여기에는 게이트 밸브 (gate valve) 가 열려 있는 한 소스에 전력을 공급하는 것을 방지하는 연동 장치 (interlock) 와 과열 (overheating) 을 방지하는 냉각 장치 (cooling unit) 가 포함됩니다. 안정적인 박막 증착에 필요한 안전 기능을 제공하는 것 외에도, 3290 개는 탁월한 비용 절감 효과를 제공합니다. 유지 보수 다운타임을 최소화함으로써, 기업은 전반적인 운영 비용을 대폭 절감할 수 있습니다. 또한, 미숙련 인력에게도 설치, 운영이 용이하여, 많은 산업 및 실험실 응용프로그램에 이상적입니다. VARIAN 3290 스퍼터링 머신 (sputtering machine) 은 많은 산업 및 실험실 박막 증착 응용 분야를 위해 신뢰할 수 있고 비용 효율적인 선택입니다. 조정 가능한 전력 속도, 온도, 압력 및 펌프 속도 제어 (레이어 정확한 증착) 가 특징입니다. 또한 설치 및 운영이 용이하며, 운영 비용을 대폭 절감할 수 있습니다.