판매용 중고 VARIAN 3290 #9174775

VARIAN 3290 스퍼터링 (sputtering) 장비는 광범위한 재료와 어플리케이션을 위해 견고하고, 고성능, 고급 스퍼터링 및 증발 기능을 제공하도록 설계되었습니다. 이 높은 수준의 성능은 정밀 제어 DC 고주파 전원 공급 장치, 3 개의 Turbo-Pumped 및 turbomolecular-pumped ultra-high vacuum level (UHV) 선택, 스퍼터링 챔버 및 진공 수준에 대한 원 터치 제어, 다양한 고급 기능. 3290의 고성능 (HPF) 은 인화성이 없고 독성이 없는 공압 및 전기 촉매가 특징인 완전히 밀봉된 방출 밸브 (Disease Valve) 와 대피 된 아르곤 환경과 독특한 난방 시스템. 또한, 전원 공급 장치는 고효율적이고 정확하게 제어되는 반면, 스퍼터링 챔버 (sputtering chamber) 는 정확하고 안정적인 기판 제어를 제공합니다. VARIAN 3290은 또한 박막 증착, 금속 및 산화물 스퍼터링, 증발, 에칭 등 다양한 응용 분야를 제공합니다. 이 장치는 폴리 크리스탈 린 (polycrystalline) 및 모노 크리스탈 린 (monocrystalline) 목표물의 정확하고 균일 한 증착을 제공 할 수 있으며, 단단하고 유연한 기질 모두에서 박막 증착에 사용될 수있다. 온도 조절 기판 척은 고온 프로세스에 이상적이며, 사용하기 쉬운 기능을 통해 빠른 설치 (fast setup) 및 작동 (operation) 프로세스를 지원합니다. 3290은 또한 이중 소스 연산 (dual source operation) 을 특징으로하며, 이를 통해 두 개의 다른 기판을 동시에 스퍼터링할 수 있습니다. 즉, 다운타임을 최소화하면서 프로세스 속도를 극대화할 수 있게 해 주고, 배치 (deposition) 매개변수를 보다 효과적으로 제어할 수 있게 해 줍니다. 또한, 기계는 압력 및 진공 수준에 대한 정확한 피드백을 제공하여 정확하고 안정적인 프로세스 제어를 가능하게합니다. 전반적으로 VARIAN 3290은 매우 신뢰성 있고 고급 스퍼터링 (sputtering) 툴로서 다양한 다용도 및 효율적인 증착 기능을 제공합니다. 견고한 디자인, 정확한 제어, 사용이 간편한 기능으로 다양한 박막 증착, 스퍼터링, 증발 (evaporation) 어플리케이션에 적합합니다.