판매용 중고 VARIAN 3290 #9171588
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판매
ID: 9171588
웨이퍼 크기: 6"
Sputtering system, 6"
Metal: AL Process
Main body
Etcher station
Electronics rack
(3) Deposition stations
(3) Plane targets
(3) VARIAN Water cooled type Gen1 DC power supplies
FLUKE Controller
CTI Cryo pump with compressor
RF Generator
Roughing pump (Oil type)
Gun source type
Currently de-installed.
VARIAN 3290 스퍼터링 장비는 대규모 증착 작업을 위해 설계된 업계 최고의 진공 코팅 도구입니다. 이 제품은 시중에서 가장 안정적이고 사용하기 쉬운 시스템 중 하나로, 생산성 향상과 작동 중 기판 (substrate) 및 챔버 (chamber) 온도 최적화에 도움이 되는 다양한 기능을 제공합니다. < img src = "http ://cp.news.search.daum.net/api/publish.json? 이 장치는 매우 빠른 처리 시간 (process time) 에 실행되도록 설계되었습니다. 즉, 운영자는 더 많은 기판을 더 적은 시간에 코팅 할 수 있습니다. 또한 VARIAN 3290은 고급 자동화 (Advanced Automation) 기능을 제공하여 설치, 종료 시간 단축, 많은 수동 작업 제거 기능을 제공합니다. 내장된 그래픽 인터페이스 및 메뉴 기반 소프트웨어를 통해, 3290 은 사용이 간편하고 프로그래밍이 간편합니다. 또한 VARIAN 3290 은 다양한 애플리케이션/기판의 요구 사항을 충족하는 다양한 유연한 구성을 제공합니다. 전원 공급 장치는 500 ~ 3000 와트로 조정할 수 있으며, 용량 요구 사항에 따라 2, 4, 6, 8 또는 12 스퍼터링 챔버 머신을 선택할 수 있습니다. 이 도구에는 챔버 온도를 유지하고 재료 비용을 줄이는 데 도움이 되는 고효율 열 관리 (HI) 자산도 포함되어 있습니다. 안전성 측면에서, 3290은 시장에서 가장 안전한 스퍼터링 시스템 중 하나입니다. 이 모델은 실드 오픈 (shield-open) 표시기, 가동 전 이온화 가스 (ionized gas) 존재 경고, 비상 정지 스위치 (emergency stop switch) 및 진공 손실 표시기 등 안전 기능이 내장되어 있습니다. 또한 Vacuum Coating Systems의 CSA Standard C22.2 No. 135-12를 충족하도록 인증되었으며 엄격한 안전 표준을 충족 할 수 있습니다. VARIAN 3290은 신뢰할 수 있고 효율적인 스퍼터링 장비로, 대규모 증착 작업에 이상적입니다. 다운타임을 줄이고, 재료 비용을 최소화하며, 고급 자동화 (automation) 및 직관적인 메뉴 (menu) 를 통해 사용하기 쉽습니다. 이는 진공 코팅 프로세스 (vacuum coating process) 의 기능을 확장하려는 조직에 적합한 선택입니다.
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