판매용 중고 VARIAN 3290 #9154648

VARIAN 3290 스퍼터링 장비는 박막을 만드는 데 사용되는 고급 다중 구성 요소 증착 도구입니다. 시스템의 핵심에는 마그네트론 스퍼터링 (magnetron sputtering) 성분이 있는데, 이는 동심원 코일 배열이있는 자기 차폐 음극을 사용합니다. 이것은 음극 표면 근처에 강한 자기장을 생성하여 스퍼터링 대상 (sputtering target) 쪽으로 전자의 방출을 지시하고, 매우 균일하고, 종종 고 수율 증착 과정을 허용합니다. 이 장치에는 여러 구성 요소와 기능이 장착되어 있어 다른 물질을 증착 할 수 있습니다. 예를 들어, 조정 가능한 구성 플랫폼으로 음극의 모양을 조정하여 최적화된 증착 반지름 (radius-of-deposition) 을 생성할 수 있습니다. 또한, 스퍼터링 대상 재료 (Sputtering Target Material) 는 최대한의 스틱 효율성을 위해 최적화되고 특정 애플리케이션 요구에 맞게 조정되도록 프로그래밍 될 수 있습니다. 3290에는 박막의 고속 증착을위한 3 가지 주요 구성 요소가 장착되어 있습니다. 첫 번째는 이중 마그네트론 스퍼터 건으로, 2 개의 고효율 증착 구역을 제공합니다. 두 번째는 유도 코일 (induction coil) 인데, 이는 호위를 방지하고 스퍼터링 전에 스퍼터링 목표를 가열하기 위해 전원 공급 장치에 연결됩니다. 마지막으로, 세 번째 컴포넌트는 챔버 내 이온을 제어하는 챔버 스크리닝 메커니즘으로, 증착률을 향상시킵니다. VARIAN 3290은 컴퓨터 파일럿 인터페이스를 사용하여 기계를 쉽게 제어하고 사용자 정의합니다. 이렇게 하면 압력, 주파수, 전압, 온도 를 정확 하게 제어 할 수 있으며, 따라서 퇴적 과정 을 최적화 할 수 있습니다. 또한, 고급 진단 (Advanced Diagnostics) 하위 시스템은 특정 전기 또는 기계적 오작동을 감지하고 사용자에게 즉시 알릴 수 있습니다. 전반적으로 3290은 박막 (thin film) 의 고수율을 확보하도록 설계된 강력한 다목적 스퍼터링 도구입니다. 가변 구성 플랫폼, 이중 마그네트론 건, 독특한 챔버 스크리닝 메커니즘 및 정확한 컴퓨터 파일럿 인터페이스 (computer-pilot interface) 는 다양한 스퍼터링 어플리케이션에 이상적인 선택입니다.