판매용 중고 VARIAN 3290 #9148904

VARIAN 3290 스퍼터링 장비는 마그네토 옵틱 (magneto-optics) 및 투명 도체 (transparent conductor) 와 같은 박막 응용을위한 최첨단 증착 도구입니다. 이 DC 스퍼터 도구 (DC sputter tool) 는 주로 금속 산화물 필름의 증착에 사용되지만 금속 및 기타 물질을 증착 할 수도 있습니다. 이 시스템은 이온 총, 받침대 및 챔버로 구성됩니다. 이온 건 (ion gun) 은 대상 물질로부터 원자를 흥분시키기 위해 플라즈마 필드 (plasma field) 를 만드는 데 사용되며, 그 후 기판에 증착된다. 대좌는 가공 챔버의 기판 및 표적 물질을 지원하는 데 사용됩니다. "아르곤 '" 가스' 를 밀봉 하고 가압 하여 깨끗 하고 안전 한 "스퍼터링 '환경 을 확보 한다. 3290 에는 특허를 받은 액티브 타겟 냉각기 (Active Target Cooling Machine) 를 포함하여 박막 스퍼터링에 이상적인 기능이 있습니다. 이 도구는 대상 재료를 신속하게 냉각시켜 표준 대상 냉각시스템 (Target Cooling System) 보다 균일 한 증착률 (Deposition Rate) 과 냉각 (Cooling) 을 제공합니다. 또한, 이 자산은 광범위한 조건에서 실행할 수 있습니다. 3 mTorr ~ 5 millitorr 및 0-50 Celsius의 다양한 압력과 온도로 작동 할 수 있습니다. 이를 통해 VARIAN 3290은 반응성 스퍼터링, 다중 계층 증착, 펄스 스퍼터링 등 다양한 프로세스에 이상적인 모델이되었습니다. 이 장비는 또한 견고한 공정 제어 시스템 (process control system) 을 제공하며, 다양한 구성으로 고품질의 필름을 제작할 수 있습니다. 3290 스퍼터링 장치는 다양한 안전 기능을 제공합니다. 여기에는 압력/진공 밸브, 비상 정지 버튼 및 RF 셧오프와 같은 안전 시스템이 포함됩니다. 그 에 더하여, "챔버 '는 암초 봉인 으로 설계 되어, 모든 위험 한 오염 물질 이나 입자 를 증착 환경 에 도입 시키는 것 을 방지 한다. 이렇게 하면 스퍼터링 머신 (sputtering machine) 이 원하는 매개변수 내에서 안전한 방식으로 작동하도록 됩니다. 전반적으로 VARIAN 3290 (VARIAN 3290) 은 다양한 기능과 기능을 갖춘 안정적이고 강력한 스퍼터링 도구입니다. 이 자산은 다양한 온도 및 압력 (pressure) 에 걸쳐 고품질 예금과 균일 한 필름을 제공합니다. 또한, 이 모델에는 안전 (Safety) 기능이 설계되어 장착되어 있어 해당 매개변수 내에서 안전하게 실행됩니다. 따라서 3290은 다양한 박막 응용 분야에 이상적인 증착 도구입니다.