판매용 중고 VARIAN 3290 #9139677

VARIAN 3290 스퍼터링 장비는 금속 및 유전체 박막 증착의 제조에 사용되는 독특한 장비입니다. 고품질 금속 또는 유전체 박막 및 고온 평면 MOS 장치 생산을 위해 특별히 설계되었습니다. 3290은 1 ~ 4 개의 Targets (최대 5kW 전력 범위) 에서 금속과 유전기의 높은 처리량을 제공합니다. 이 "시스템 '은 욕조" 파라미터' 를 현장적 으로 제어 함 으로써 광범위 한 "스퍼터링 '배경 을 제공 할 수 있다. VARIAN 3290의 백본은 통합 진공 생성 장치 (Vacuum Generation Unit) 로, 초고속 진공 처리량을 제공하며 작동 범위는 1 x 10-10 Torr입니다. 이 기계는 또한 HPMCI (High Performance Magnetic Circular Ionization) 를 사용하여 기질의 균일성을 보장하는 Multifaceted 증착실을 갖추고 있습니다. 또한 낮은 운영 비용 인 VARIAN DC 스퍼터 소스 (VARIAN DC Sputter Source) 로 구동되어 높은 증착 시간을 유지하면서 에너지 소비를 줄입니다. 기본 기능 외에도 3290 개는 다양한 장비 (옵션) 를 제공합니다. 여기에는 온도, 압력 및 강착 물질의 전기 특성을 직접 측정 할 수있는 다양한 감지 환경 (Sensing Environments) 이 포함됩니다. 이 도구에는 또한 동적 필름 측정 자산 (Dynamic Film Measurement Asset) 이 있으며, 이를 통해 증착 중 다양한 재료의 특성을 정확하게 제어 할 수 있습니다. 또한 고급 서버 장비 (Server Equipment) 를 통해 전체 스퍼터링 프로세스를 리모콘할 수 있습니다. 최대 8 개의 Target 을 동시에 제어할 수 있으며, 자동화된 데이터 수집 기능을 제공합니다. 또한 정교한 진공 누출 감지 (Vacuum Leak Detection) 기능이 있어 빠르고 쉬운 누출 감지 프로세스가 가능합니다. VARIAN 3290은 높은 내구성을 위해 제작되었으며 최대 두께가 2µm 인 고품질 박막 (thin film) 을 생산합니다. 다양한 고객 서비스 옵션 (예: 현장 유지 보수 및 검증) 을 통해 지원됩니다. 이 시스템은 잦은 교정 (calibration) 이나 수정 (modification) 이 필요 없이 반복 가능한 결과를 낼 수 있으므로 고성능 재료를 생산하는 데 이상적입니다.