판매용 중고 VARIAN 3290 #9125838

VARIAN 3290 스퍼터링 장비는 VARIAN, Inc.에서 개발 한 고급 PVD (Physical Vapor Deposition) 기술 제품입니다. 그것 은 금속 과 반도체 에서 산화물, 질화물, 중합체 에 이르는, 다양 한 박막 을 퇴적 시키도록 설계 되었다. 이 다목적 스퍼터링 도구는 박막 두께 및 광학 코팅에서 마이크로 일렉트로닉스 (microelectronics) 에 이르기까지 다양한 응용 분야에 이상적입니다. 3290 개의 스퍼터링 (sputtering) 시스템은 다양한 요구 사항을 충족하는 고급적이고 안정적인 플랫폼을 제공합니다. 이 장치에는 고성능 공정 챔버 (Process Chamber), 터렛 구성 및 모듈식 로드 잠금 장치 (Modular Load Lock) 가 결합된 실드 디자인이 장착되어 있습니다. 실험과 프로세스가 각 애플리케이션의 요구 사항에 맞게 다른 카세트 방향, 대상 위치 (target position), 형상 (geometry) 을 필요로 할 수 있으므로 이 고유한 기능을 통해 유연성을 확보할 수 있습니다. 이 기계는 또한 공정 기체, 전력, 챔버 압력, 터보 분자 펌프 속도, 진공 통풍에 대한 독립적 인 제어를 포함하여 뛰어난 공정 제어를 제공합니다. 이 도구는 다양한 특수 응용 프로그램 (special application) 을 처리하도록 설계된 다양한 기능으로 구성됩니다. 두 가지 다른 재료를 동시에 스퍼터링할 수있는 멀티 타겟 기능을 제공합니다. 에셋은 또한 원형, 사각형, 사각형, 사각형, 다이아몬드 모양과 같은 다양한 형상으로 큰 기판을 효율적으로 실행할 수 있습니다. 이렇게 하면 재료 증착 과정 이 가능 한 한 정확 하게 진행 되고, 끝 결과 는 일관성 이 있고, 반복 할 수 있게 된다. 또한, VARIAN 3290 스퍼터링 모델은 정교한 기하학 제어 장비와 순수한 금속, 합금, 세라믹 산화물 등 다양한 재료로 만든 고품질 음극으로 균일 한 증착을 가능하게합니다. 또한, 이 고급 스퍼터링 시스템은 사용자 친화적 인 유닛 운영, 유지 보수, 진단, 프로그래밍 및 레시피 개발을 위한 종합적인 인터페이스를 제공합니다. 이 최적화 된 인터페이스는 기계를 직관적으로 만들고, 결국 사용자의 학습 곡선을 줄입니다. 사용자 친화적 인 기능은 목표 온도, 아르곤 가스 압력, 컴포지션 설정을 제어하는 것에서부터 데이터의 실시간 모니터링 (real-time monitoring) 에 이르기까지 다양합니다. 이러한 모든 혁신적인 기능으로 인해 3290 개의 스퍼터링 (sputtering) 도구는 물리적 증기 증착 공정 (physical vapor deposition process) 에서 고품질의 안정적인 결과를 얻을 수있는 훌륭한 선택이며, 모든 실험실에 귀중한 자산입니다.