판매용 중고 VARIAN 3290 #9075492

VARIAN 3290 스퍼터링 시스템은 박막 증착 프로세스에 사용되는 고성능 장비입니다. 그것의 주요 목적은 다양한 응용 분야를 위해 금속, 산화물, 반도체의 박막 (thin film) 을 다양한 기판에 배치하는 것입니다. 3290은 높은 수준의 공정 제어 (process control) 와 다양한 기능을 사용하여 집적 회로, 평면 패널 디스플레이, MEMS 및 태양 전지 어플리케이션을위한 고품질의 박막 (thin film) 을 생산합니다. 음극, 조절 가능한 플래튼, 조절 가능한 플럭스 소스 (flux-source) 의 세 가지 별개의 독립적 인 매개 변수를 통해이를 달성합니다. 음극은 기판에 증착 될 재료의 공급원입니다. 이것 은 일반적 으로 "알루미늄 '," 팔라듐' 또는 금 과 같은 철사 이지만, "크롬 '과 같은 다른 비활성 물질 도 이용 될 수 있다. 전선은 기판에 스퍼터링되어, 조절 가능한 플래튼에 배치 될 수있다. 조정 가능한 플래튼 (platen) 은 기판의 각도와 기판의 균일 한 증착에 대한 회전을 제어 할 수 있습니다. 조정 가능한 플럭스 소스 (flux source) 는 증착 과정을 방해 할 수있는 모든 이온으로부터 균일 한 차폐를 제공합니다. 플럭스 소스 (flux source) 는 또한 플래튼에 전자를 제공함으로써 약간의 배경 중화를 제공합니다. 바리안 3290 (VARIAN 3290) 은 또한 다양한 커스터마이징 가능한 증착 매개변수를 가지고 있으므로 다양한 두께로 다양한 재료를 배치 할 수 있습니다. 이러한 매개변수는 증착 속도, 전압, 기판 온도 및 가스 유속 (gas flow rate) 선택을 통해 뛰어난 유연성을 제공합니다. 3290 스퍼터링 시스템은 안정적이고 효율성이 높으며, 높은 반복성과 재현성을 지닌 탁월한 영화 품질을 제공합니다. 다양한 기능과 프로세스 매개변수 (process parameter) 를 통해 사용자는 원하는 결과를 생성해야 하는 제어 (control) 를 얻을 수 있습니다. 사용자 친화적 인터페이스 (user friendly interface) 와 복잡한 설정 프로토콜 (setup protocol) 은 모든 박막 증착 프로세스에 이상적인 선택입니다.