판매용 중고 VARIAN 3290 #9075491

VARIAN 3290은 직경이 최대 300mm 인 기질에서 고정밀 스퍼터링 프로세스를 제공 할 수있는 최첨단 장비입니다. 3290 은 증착 과정 (deposition process) 을 정확하게 제어해야 하는 연구/생산 응용프로그램을 위한 최고의 솔루션입니다. 고속, 뛰어난 목표 활용, 운영 단순성, 유연성, 증발 기능의 장점을 결합한 제품입니다. VARIAN 3290 시스템은 완전히 자동화되어 안정적인 증착과 반복 가능한 결과를 얻을 수 있습니다. 또한 직경이 최대 300mm 인 다양한 기판을 제공하며 산화물 (oxides) 과 금속 (metal) 을 포함한 표준 스퍼터링 대상과도 호환됩니다. 고정밀도 장치 (high-precision unit) 를 통해 증착 프로세스를 보다 세밀하게 제어할 수 있으므로 재료와 두께가 다른 복잡한 다중 계층 (multi-layer) 아키텍처를 생성할 수 있습니다. 3290 기계는 마그네트론 스퍼터링 공정을 사용하여 재료 코팅을 매장합니다. 이 도구는 RF 전원 공급 장치로 구동되는 단일 필라멘트 음극 바이어스 형 스퍼터링 건으로 설계되었습니다. 이 총은 회전하는 자기장을 사용하여 스퍼터링 (sputtering) 중에 생성 된 호를 제어하고 높은 공정 효율을 달성합니다. RF 바이어스 전압을 사용하면 증착 속도가 높아질 수 있습니다. 자산은 깨끗하고 안전한 작동을 보장하는 가스 관성 (gas inerting) 모델과 완벽하게 통합됩니다. 공기 흐름과 순도를 제어하는 통합 된 고진공 챔버 (high-vacuum chamber) 와 보장 필름 품질을 위한 자동 펌프 아웃 (pumpout) 옵션이 있습니다. 또한, 물 재순환 장비는 공정 중에 최적의 온도를 유지하여 과열 (overheating) 및 잠재적으로 손상되는 부품으로부터 보호합니다. VARIAN 3290은 탁월한 프로세스 데이터 판독 및 프로세스 제어를 제공하는 직관적인 제어 시스템을 갖추고 있습니다. 여기에는 수동/자동 증착 모니터링 (manual/automatic deposition monitoring) 및 사용자 안전을 보장하는 경고 및 보호 기능이 포함됩니다. 또한, 이 장치는 여러 필름 아키텍처를 동시에 제작하는 한편, 각 프로세스에 대한 자세한 정보를 제공합니다. 전반적으로, 3290은 정확하고 반복 가능한 필름 증착 결과를 생성하는 신뢰할 수있는 방법입니다. 첨단 기능을 통해 고밀도 제어 (high-precision control) 와 유연한 아키텍처 (architecture options) 를 갖춘 리서치 및 프로덕션 어플리케이션에서 널리 사용되는 옵션으로 자리잡았습니다. 스퍼터링 프로세스에 완벽한 솔루션입니다.