판매용 중고 VARIAN 3290 #9043983

VARIAN 3290은 VARIAN Technologies Inc.에서 제조 한 자동 스퍼터링 장비입니다. 그것 은 "박막 '의 정확 하고 효율적 인 증착 을 위한 고압 저온" 코우팅' 장치 이다. 이 고유 한 장치는 정확한 컴포지션 및 균일 한 두께를 가진 고품질, 반복 가능한, 레이어 별 필름을 생성 할 수 있습니다. 이 기계는 자동 스퍼터링 대상, 기판 웨이퍼 핸들러, RF/DC 전원 공급 장치, 진공 도구 및 가스 패널로 구성됩니다. 스퍼터링 대상은 이종 epitaxial 구조입니다. 표적 물질 (일반적으로 금속, 반도체 또는 초전도체) 은 깨끗한 진공 및 높은 순도 캐리어 가스가있는 잘 조절 된 환경에서 기판 (일반적으로 실리콘 웨이퍼) 에 스퍼터링됩니다. 스퍼터링 (Sputtering) 은 고속 열성 입자 스트림 (stream of high speed thermionic particle) 으로 표적 표면의 폭격을 통해 금속 박막이 형성되는 고급 필름 형성 증착 과정이다. RF/DC 전원 공급 장치는 뛰어난 제어 및 안정성과 결합된 높은 DC 및 RF 전원 수준을 제공합니다. 그것 은 얇은 "필름 '의 균일 한 증착 에 대한 기판 온도 를 정확 히 제어 해 준다. 가스판은 에셋에 연결되어 스퍼터링 (sputtering) 과정에서 캐리어 가스를 도입하고 제어합니다. 3290 모델은 또한 증착실에 RF 에너지를 도입하여 플라즈마 환경을 생산하는 시설을 갖추고 있습니다. 이 장비의 일반적인 작동 매개변수는 최대 1000 ° C의 높은 챔버 온도 (chamber temperature) 와 최대 1000 볼트의 저전압 (low voltage) 으로 두꺼운 필름의 증착은 가능하지만 박막 증착의 정확한 제어가 가능합니다. VARIAN 3290의 진공 시스템은 펌프에 연결된 진공 챔버로 구성됩니다. 챔버 (chamber) 의 압력은 10 ~ 4 미만의 습도 수준으로 제어되어 균일 및 품질 필름 두께에 대한 환경의 순도를 유지합니다. 3290은 정확한 구성과 균일 한 증착 두께로 고품질의 박막 (thin film) 레이어를 생산하기 위한 안정적이고 효율적인 장치입니다. 자동 스퍼터링 기능 (automated sputtering feature) 은 반복 가능한 출력으로 일관된 결과를 보장하므로 다양한 박막 (Thin Film) 응용 프로그램에 적합합니다. 이 기계 의 고급적 인 특징 은, 이것 을 연구 및 산업 용도 로 훌륭 한 선택 으로 만든다.