판매용 중고 VARIAN 3290 #166882

VARIAN 3290은 강력한 스퍼터링 장비입니다. 스퍼터링 (Sputtering) 은 PVD (Physical Vapor Deposition) 프로세스로, 물질은 표적에서 분리되어 제어 된 방식으로 기판으로 운반됩니다. 3290은 최대 12.7cm (plasma-enhanced deposition) 용으로 설계되었으며 최대 6 개의 재료를 수용 할 수 있습니다. VARIAN 3290 시스템은 표준 Windows (tm) 인터페이스로 제어되므로 장치 컨트롤, 프로세스 매개변수, 데이터 로깅 기능에 쉽게 액세스할 수 있습니다. 향상된 사용자 인터페이스 (Enhanced User Interface) 와 전용 레시피 언어 (Dedicated Recipe Language) 를 통해 프로세스 변수를 쉽게 변경, 모니터링 및 기록할 수 있습니다. 모듈식 설계를 통해 사용자는 시스템 구성 요소를 필요에 맞게 사용자 정의할 수 있습니다. 3290 sputtering 툴에는 multi-gun 및 dynamical control 기능이 포함되어 있으므로 여러 대상을 동시에 제어할 수 있습니다. 이중 건 (dual-gun) 옵션은 VARIAN 3290의 고유한 기능으로, 사용자가 응답 스퍼터링에 사용할 수있는 별도의 제어 매개변수를 가진 2 개의 총을 가질 수 있습니다. 자산에는 탁월한 이온 폭격을 제공하는 펄스 DC (Pulsed DC) RF 생성기 (Pulsed DC ™ RF Generator) 가 제공되어 스퍼터 레이어에 대한 접착 특성이 향상되고 필름 증착률이 향상됩니다. 또한 DC-바이어스 옵션 (DC-Bias Option) 은 단계 높이가 큰 기판에 균일 한 적용 범위를 허용합니다. 3290은 광범위한 응용 프로그램을 갖춘 다용도 모델입니다. 강력한 기능과 뛰어난 성능을 갖춘 VARIAN 3290은 진공 금속화 (vacuum metalization) 에서 정확한 박막 증착 (thin-film deposition) 에 이르기까지 다양한 스퍼터링 프로세스에 대해 안정적이고 정확한 제어를 제공합니다. 산화물, 질화물, 금속, 금속화, 코팅, 반도체 장치 제작과 같은 다양한 재료에 사용될 수 있습니다. 정확한 제어 시간, 빠른 처리 시간을 통해 산업 및 연구 애플리케이션에 적합합니다.