판매용 중고 VARIAN 3290 #148077

VARIAN 3290은 고품질 재료 증착 및 분석을 생산하기 위해 설계된 최첨단 스퍼터링 장비입니다. 2 개의 다른 재료를 2 개의 개별 포켓으로 배치 할 수있는 3 포켓 시스템입니다. 증착 과정은 VARIAN 컴퓨터 엔지니어가 만든 컴퓨터 제어 프로그램 (computer-controlled program) 에 의해 제어되며, 이를 통해 다른 물질을 다른 기판에 매우 정확하게 증착 할 수 있습니다. 3290은 최대 500mm 금속 기판을 회전하고 보유 할 수 있으므로 Research and Development (R&D) 응용 프로그램에 이상적입니다. 이 장치는 스퍼터링 프로세스 전반에 걸쳐 정확한 스퍼터링 레이트 (sputtering rate) 와 기질 균일성을 가능하게하는 매우 정확한 압력 및 진공 제어기를 가지고 있습니다. 또한, 고도로 통제 된 환경에서 정확하고 안정적인 가스 추가를 가능하게하기 위해 5 단계 가스 전달 머신 (gas delivery machine) 이 장착되어 있습니다. 이를 통해 증착 온도를 정확하게 모니터링하고 제어하여 우수한 성능을 얻을 수 있습니다. 3 포켓 도구에는 가장 높은 수준의 재료 품질과 균질성을 보장하도록 설계된 몇 가지 기능이 있습니다. 마그네트론 스퍼터링 기술 (magnetron sputtering technology) 을 사용하면 매우 정확한 재료 증착이 가능하며, 강한 접착이 필요한 다중 레이어 레이어 (multi-layer layer) 또는 다른 기판의 정확한 필름 두께를 위해 사용됩니다. 또한, 이 자산은 3 개의 별개의 가스 환경을 활용 할 수 있으므로 증착률이 더 빠르며, 감광기 효율성이 높고, 스퍼터링 전력이 줄어들고, 재료 순도가 높아집니다. 고급 광검사 (Optical Inspection) 모델의 통합을 통해 VARIAN 3290은 정확한 재료 두께와 분포를 달성 할 수 있습니다. 4 프레임 카메라 장비 (옵션) 도 사용할 수 있으며, 이는 작은 세부 사항을 측정하고 매우 얇은 재료 레이어를 식별하는 데 이상적입니다. 멀티 존 (multi-zone) 공정 제어 기능을 통해, 시스템은 또한 미세한 피치 정확성과 우수한 증착 균일성을 달성 할 수 있습니다. 3290 은 안정적이고 내구성이 뛰어난 장치로서, 모든 애플리케이션에서 뛰어난 성능을 제공합니다. 유지 관리 진단 및 교정 도구 (예: 메모리 매핑, 실시간 모니터링, 정확한 화면 판독) 를 포함하므로, 사용하기 쉽고 유지 관리가 용이합니다. 이 도구에는 또한 종합적인 사용자 설명서 (User Manual) 가 제공되며, 이 설명서는 운영자에게 자세한 지침을 제공합니다.