판매용 중고 VARIAN 3290 STQ #9294608

VARIAN 3290 STQ는 박막 증착 공정을 위해 설계된 스퍼터링 장비입니다. 최대 4 개의 마그네트론 스퍼터링 전극과 최대 4 개의 평면 RF/DC 또는 DC 마그네트론을 제공하는 수직 시스템입니다. VARIAN 3290STQ 장치는 IAD (ion-assisted deposition), 반응성 스퍼터링 및 기타 다양한 박막 증착 기술과 같은 다양한 박막 증착 프로세스를 수행 할 수 있습니다. 챔버 크기가 클수록 더 큰 기판을 지원할 수 있습니다. 3290 STQ는 직관적이고 인체 공학적 인 사용자 인터페이스로 편리하게 설계되었습니다. 손쉽게 작동할 수 있도록 간편하고 편리한 설계를 제공하며, 향상된 기능과 작동을 위한 고급 GUI (Graphical User Interface) 를 갖추고 있습니다. 진공기의 최대 작동 압력은 5x10-7 토르 (5x10-7 Torr) 이며, 펌프 다운 시간은 짧은 사이클 시간으로 최적화되었습니다. 챔버를 빠르게 펌핑하기위한 통합 교육자도 포함됩니다. 3290STQ 도구는 또한 원하는 목표 온도를 빠르게 달성하기 위해 높은 기판 난방 속도를 제공합니다. 독립, 2 존 (zone), 4kW RF/DC 전원 공급 장치를 장착하여 고성능 박막 증착을 위해 정밀 제어 및 정밀한 균일성을 제공합니다. 또한, 주파수 민첩성 기능은 고급 응용 프로그램에 대한 추가적인 제어 및 유연성을 제공합니다. 에셋은 처리 옵션을위한 고급 압력 제어 모델 (PCS) 도 갖추고 있습니다. 이 내장 PCS 기술은 정확하고 재현 가능한 압력 제어 프로세스를 보장합니다. 고급형 프로세스나 맞춤형 프로그래밍 가능한 레시피에 대한 사이클 반복 (cycle repeatability) 기능을 통해 일관된 생산성 향상을 보장합니다. PCS는 또한 비활성 또는 반응성 가스 혼합 기능을 가능하게하며, 증착 매개변수를 추가로 제어합니다. VARIAN 3290 STQ에는 원격 모니터링 장비도 있습니다. 이 시스템은 장치의 상태, 온도 판독 (temperature readings), 현재 사용 (current consumption) 및 기타 작동 데이터를 보는 데 사용할 수 있습니다. 내장형 이더넷 포트를 통해 사용자를 위한 원격 모니터링 시스템을 손쉽게 통합할 수 있습니다. 이 툴의 보안 프로토콜은 또한 구성 능력이 뛰어나며, 개별 사용자 (user) 또는 애플리케이션 (application) 요구 사항에 맞게 맞춤형으로 구성할 수 있습니다. 결론적으로, VARIAN 3290STQ는 까다로운 박막 증착 프로세스를 위해 설계된 다재다능한 자산입니다. 내장된 기능을 통해 정밀 제어 및 반복 가능한 결과를 얻을 수 있으며, 직관적 인 사용자 인터페이스 (user interface) 와 프로그래밍 가능한 레시피 (recipe) 를 통해 쉽게 사용할 수 있습니다. 이더넷 포트는 원격 모니터링 기능을, 고급 PCS 기술은 정확하고 일관된 운영 시간을 보장합니다.