판매용 중고 VARIAN 3290 STQ #9262677

VARIAN 3290 STQ (VARIAN 3290 STQ) 는 기판에 다양한 재료를 코팅 할 수있는 스퍼터 증착 장비입니다. 도체, 저항 물질, 절연체, 유전체, 산화물, 질화물, 합금 등 광범위한 필름 유형을 생성 할 수 있습니다. 그것 은 "아르곤 '" 이온' 과 "펄스 '된 DC 총 과 같은 특수" 스퍼터' 원 과 상호 작용 하여 "마그네트론 스퍼터링 '의 가능성 을 열어 준다. VARIAN 3290STQ 는 주로 단일 플랫폼에서 다양한 프로세스 기술을 제공하는 스퍼터링 (sputtering) 시스템입니다. 기존의 직류 (DC) 스퍼터링, 고정 및 교대 산소 혼합에서 반응성 스퍼터링, 최대 4 소스 구성 및 사용자 정의 가능한 반응성 스퍼터링 기능을 제공합니다. 이 다양한 기술을 사용하여, 더 낮은 온도와 더 나은 균일 성 (unifority) 에서 높은 증착률을 허용합니다. 또한, 3290 STQ는 특정 결정질 구조가 필요한 것과 같은 재료의 증착을 사용자 정의하기위한 유연성을 제공합니다. 이 장치 는 청결 함 (Cleaness) 과 저접촉 오염 (Low Contact Contamination) 을 특징 으로, 퇴적층 이 더 순도 가 높고 더 매끄럽고 질 이 높은 마무리 를 만들 수 있게 해 준다. 이는 자동화 된 로드 잠금 (load lock) 300mm 및 웨이퍼 전송 메커니즘과 프로세스 유발 오염을 줄이는 자동 챔버 퍼지 (chamber purge) 를 통해 달성 할 수 있습니다. 3290STQ 머신은 또한 제조업체의 특허 된 마스크 공조 도구 (mask collimation tool) 를 통해 기판 위치 제어에 대한 뛰어난 정밀도를 제공합니다. 이것 은 천 분 의 1 "인치 '이내 에 정확 한, 반복 할 수 있는 필름 두께 와 균일성 을 제공 하는 데 도움 이 된다. 자산의 광학은 전송 된 파장을 분리하기 위해 간섭 필터 (interference filter) 로 날카로우며, 설계는 결함을 줄이거나 제거하는 데 도움이됩니다. 즉, 요소들의 전통적인 교차 오염이 없기 때문에 안정성과 반복성이 향상됩니다. 결론적으로, VARIAN 3290 STQ는 매우 진보 된 스퍼터 증착 모델로, 기판에 다양한 재료를 정확하고 일관되게 코팅 할 수 있습니다. 이 "필름 '은 비길 데 없는 정확도 로 광범위 한" 필름' 형 을 생산 할 수 있으며, 그 첨단 기술 을 통해 부드러운 마무리, 뛰어난 균일성, 그리고 정밀성 을 제공 할 수 있다. 이 장비는 프로세스 제어 (process control) 능력을 활용하여 생산성을 높이고 비용을 절감하는 데 도움이 될 수 있습니다.