판매용 중고 VARIAN 3290 STQ #9250098

VARIAN 3290 STQ
ID: 9250098
웨이퍼 크기: 6"
빈티지: 2000
Sputtering systems, 6" Quantum target 2000 vintage.
VARIAN 3290 STQ는 얇은 재료를 기판에 배치하도록 설계된 최첨단 스퍼터링 장비입니다. 이 스퍼터링 시스템은 알루미늄, 크롬, 니켈, 티타늄, 텅스텐, 구리 및 은을 포함하여 광범위한 재료를 증착 할 수 있습니다. VARIAN 3290STQ는 최대 4 개의 재료를 동시에 배치 할 수있는 다중 마그네트론 (multi-magnetron) 장치로, 응용 프로그램 요구에 따라 구성 가능합니다. 기계의 독특한 설계는 증착율, 필름 두께, 레이어 구성에서 탁월한 균일성과 반복성을 제공합니다. 3290 STQ의 노출 된 구성 요소는 강력하고, 단단한 스테인리스 스틸 (stainless steel) 로 구성되며, 뛰어난 기계적 안정성을 제공하고 진동을 최소화합니다. 챔버 (Chamber) 는 문자 적으로 밀봉되어 있으며 첨단 스퍼터링 소스 외에도 진정한 진공 펌핑 스테이션을 포함합니다. 이 도구는 또한 컴퓨터 인터페이스와 함께 고급 온보드 모니터 (on-board monitor) 를 통합하여 최대의 제어 및 자동화 기능을 제공하며, 사용자 친화적 제어 에셋을 내장하여 스퍼터링 (sputtering) 을 쉽게 실행할 수 있습니다. 증착 과정은 자기 배열 (magnetic array) 에 신중하게 배열 된 고 에너지 자석에서 원하는 물질의 스퍼터링 (sputtering) 으로 시작됩니다. 이 배열 은 "스퍼터링 '과" 스퍼터링' 을 효율적 으로 하는 한편 단순 히 "챔버 '로 확산 되지 못하게 한다. 그런 다음 "펌프 '" 스테이션' 에 의하여 물질 을 기판 으로 채취 하여 "스퍼터링 '원 과 기판 을 가로질러 진공 시킨다. 이것 은 "필름 '을 기판 에 균일 하고 반복 할 수 있는 증착 을 보장 해 주며, 그 결과 고품질, 일관성 있는 박막 이 된다. 3290STQ는 다양한 산업 및 응용 분야에서 스퍼터 코팅 (sputter-coating) 및 관련 첨단 기술 프로세스에 적합합니다. 예로는 반도체, 광학 전자 장치, 홀 센서, 박막 코팅 및 박막 재료가 필요한 기타 많은 기술이 있습니다. 또한, 완벽한 정확성과 정확성으로 VARIAN 3290 STQ는 박막 (thin film) 의 안정적이고 일관된 증착을위한 업계 표준을 제공합니다.
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