판매용 중고 VARIAN 3290 STQ #9248600

VARIAN 3290 STQ는 VARIAN에서 제조 한 반응성 이온 스퍼터링 장비입니다. 반도체, 유리, 플라스틱, 금속 등 다양한 재료에 박막 퇴적과 같은 산업 응용 분야에 사용됩니다. 이 시스템은 자동차, 항공 우주, 의료 기기, 전자 제품 및 고품질의 스퍼터링 필름 (sputtered film) 이 필요한 기타 산업에 적합합니다. VARIAN 3290STQ의 디자인은 스퍼터 필름의 프로세스 처리량과 균일성을 극대화합니다. 이 장치는 2 개 또는 3 개의 조정 가능한 대상, 1 개 이상의 아르곤 평면 마그네트론, 고출력 DC 전원 공급 장치 및 정확한 매개변수 설정 및 모니터링을위한 컨트롤러로 구성됩니다. 각 표적에는 자기장 강도 (magnetic field strength) 와 이온 (ion) 과 중성 (neutral ratio) 의 독립적 인 조정이 가능한 별도의 마그네트론을 장착 할 수 있습니다. 고출력 공급 장치 (High Power Supply) 를 통해 최대 70µm/min의 스퍼터 속도를 허용하여 고품질 필름의 높은 증착률을 보장합니다. 3290 STQ는 프로세스 제어 및 신뢰성을 향상시키기 위해 다양한 기능을 제공합니다. 전통적인 음극 아크를 제거하는 고급 방호 기술을 제공합니다. 이 고급 기술을 사용하면 호 (arc) 가 감지되면 매개변수를 감지하고 조정하여 대상 활용도를 높일 수 있습니다. 또한, 컴퓨터에는 작업 중 문제가 발생하면 사용자에게 경고하는 프로세스 모니터링 (process monitoring) 도구가 있습니다. 또한, 자산은 플라즈마의 이온 플럭스 (ion flux) 및 에너지 분포를 측정하는 플라즈마 소스 시뮬레이션 기능을 사용한다. 이렇게 하면 안정적인 프로세스 제어가 가능해지고, 전력 소비량과 스퍼터링 시간이 줄어듭니다. 3290STQ에는 프로세스 안정성과 정확성을 향상시키는 데 도움이 되는 진단, 보고, 디바이스 상태 정보도 포함되어 있습니다. 전반적으로, VARIAN 3290 STQ는 스퍼터 필름의 최대 프로세스 처리량 및 균일성을 위해 다양한 기능을 제공하는 신뢰할 수있는 스퍼터 모델입니다. 공정 모니터링 (process monitoring) 및 플라즈마 소스 시뮬레이션 (plasma source simulation) 과 결합된 고급 호 방지 기술은 일관되고 정확한 스퍼터 증착을 보장합니다. 프로세스 진단 및 보고 기능은 디바이스 상태를 높이고 안정적인 프로세스를 보장합니다. 고품질, 신뢰할 수있는 스퍼터링 필름이 필요한 제조업체는 VARIAN 3290STQ의 이점을 크게 얻을 수 있습니다.