판매용 중고 VARIAN 3290 STQ #9188626

VARIAN 3290 STQ는 일관되고 안정적인 스퍼터링 프로세스를 제공하기 위해 설계된 고급형 스퍼터링 증착 장비입니다. 이 기능은 광범위한 산업 및 연구 애플리케이션에 적합합니다. VARIAN 3290STQ는 일반적으로 얇은 필름을 금속, 반도체, 유전체, 폴리머 및 세라믹과 같은 다양한 재료의 기질로 스퍼터링하는 데 사용됩니다. 이 시스템에는 두 가지 주요 구성 요소 (진공 챔버 및 이온 소스) 가 있습니다. 두 구성 요소 모두 하나의 소형 장비에 통합되어 있습니다. 진공실은 외부 실린더, 내부 실린더 및 서리 벽으로 구성됩니다. 외부 원통은 저압 환경 (low-pressure environment) 을 만드는 데 필요하며, 내부 원통과 서리 벽 (frost wall) 은 기질의 온도 및 스퍼터 위치를 단단히 제어해야합니다. 스퍼터 건 (sputter gun) 은 위치 적이며 조절 가능하여 기질의 정확한 스퍼터 커버리지를 허용합니다. 이온 소스는 대상 물질을 스퍼터팅하는 데 사용되는 고속 이온 (high-velocity ion) 을 생산합니다. 이 장치 는 매우 조정 이 가능 하여, 각기 다른 "응용프로그램 '에 매우 다양 한 각기 다른 표적 재료 를 사용 할 수 있다. 이 원천은 최대 12kW를 생산할 수 있으며, 다양한 금속, 반도체를 스퍼터링하기에 충분히 강력합니다. 3290 STQ에는 최첨단 프로세스 제어 시스템도 장착되어 있습니다. PID 컨트롤러와 SCADA 시스템을 사용하면 전체 스퍼터링 프로세스를 정확하게 제어하여 매번 일관된 결과를 얻을 수 있습니다. 또한, 이 기계는 다른 구성 요소와의 손쉬운 통합을 위해 설계되었으며, 다양한 어플리케이션에 적합한 다용도 (versitile) 설치를 가능하게 합니다. 전반적으로, 3290STQ 도구는 전체 증착 과정을 정확하게 제어 할 수있는 안정적인 스퍼터링 프로세스를 제공하도록 설계되었습니다. 조정 가능한 이온 소스 (ion source) 및 챔버 (chamber) 구성으로 광범위한 어플리케이션에 적합하며, 프로세스 제어 기능은 일관된 결과에 큰 정확성을 제공합니다.