판매용 중고 VARIAN 3290 STQ #9154643

VARIAN 3290 STQ 스퍼터링 장비는 고급 프로세스 기능을 제공하는 고급 증착 시스템입니다. 다양한 어플리케이션에 대한 가장 엄격한 요구 사항을 충족할 수 있도록 안정적이고, 반복 가능한 성능, 고품질의 박막 (Thin Film) 을 제공하도록 설계되었습니다. 이 장치에는 견고한 다가치 챔버 (polyvalent chamber), 직관적이고 유연한 소프트웨어 인터페이스, 다양한 스퍼터링 대상 및 기판이 장착되어 있습니다. VARIAN 3290STQ 챔버 (chamber of VARIAN 3290STQ) 는 증착 과정을 제어하기 위해 사용되며, 뛰어난 프로세스 제어 및 신뢰성을 제공하면서 높은 수준의 반복 성과 정확성을 달성하도록 설계되었습니다. 이 챔버 (Chamber) 는 벨-자르 (Bell-jar) 구성을 특징으로하며, 증착 영역에 대한 훌륭한 액세스를 제공하며 기판 로딩 및 언로드가 빨라집니다. "마그네트론 '이나" 다이오드' 의 "스퍼터링 '원 을 선택 하여 여러 가지 금속 의 박막 을 퇴적 시킬 수 있다. 또한, "웨이퍼 ', 기판 및 기타 불규칙적 인 모양 을 포함 하여 여러 가지 기판 크기 와 모양 을 기계 와 함께 사용 할 수 있다. 3290 STQ 의 강력한 소프트웨어 인터페이스는 증착 (deposition) 프로세스를 쉽고 직관적으로 제어할 수 있도록 설계되었습니다. 공구 최적화의 모든 측면 (예: 재료 매개변수, 전원 설정, 증착 프로세스와 관련된 기타 매개변수) 을 특정 요구사항에 맞게 구성할 수 있습니다. 이 자산은 또한 자동화된 레시피 스크립팅 (recipe scripting) 을 제공하여 최적화 프로세스를 단순화하고 일관된 결과를 보장합니다. 고유하고 적응적인 프로세스 제어 (adaptive process control) 알고리즘도 모델에 포함되어 높은 수준의 프로세스 제어 (process control) 를 제공하고 프로세스 변동성을 줄입니다. 이 장비는 또한 램프 (ramping) 기능을 제공하여 반응 프로세스를 모니터링하면서 저전력 (low power) 에서 고전력 (high power) 으로 단계적 증착 접근을 허용합니다. 3290STQ 시스템에는 가장 까다로운 요구 사항을 충족하기 위해 다양한 스퍼터링 (sputtering) 목표와 기판이 제공됩니다. VARIAN 은 일반 또는 맞춤형 고순도, 고밀도 대상 (평생 무상수리 포함) 중에서 선택할 수 있습니다. 기판에는 석영, 세라믹, 사파이어 웨이퍼, 특수 성능 특성이 필요한 응용 프로그램의 다른 기판이 포함됩니다. 전반적으로 VARIAN 3290 STQ는 고급 스퍼터링 시스템 기능과 기능을 제공하며, 안정적이고 반복 가능한 성능과 고품질의 박막 (Thin film) 을 제공합니다. 직관적인 인터페이스 (interface) 와 다양한 스퍼터링 대상 (sputtering target) 및 기판을 통해 사용자는 프로세스 변동성을 제어하면서 프로세스 최적화를 달성할 수 있습니다.