판매용 중고 VARIAN 3290 STQ #9134775

VARIAN 3290 STQ는 박막 증착 응용 프로그램을 위해 설계된 고성능 스퍼터링 장비입니다. 이 시스템은 공정 컴포넌트 (process component) 를 사용하여 전체 기판에 걸쳐 정확한 레이어 두께와 정밀한 균일성 (unifority) 을 사용하여 물질을 기판에 폭격 및 침전시킵니다. VARIAN 3290STQ 장치에는 다양한 금속, 유전체 및 기타 재료의 박막 (thin film) 을 만들도록 설계된 다양한 구성 요소가 포함되어 있습니다. 3290 STQ에는 품질 진공 환경을 만들도록 설계된 타원형 진공실이 포함되어 있습니다. 이 챔버는 스테인리스 스틸 (stainless steel) 로 만들어졌으며 O-ring을 사용하여 밀봉되었으며 다양한 뷰포트와 진단을 갖추고 있습니다. 기계 내부에는 2 개의 고압 비대칭 마그네트론 (Magnetron) 이 있으며, 이는 물질을 기판에 스퍼터팅하는 데 사용됩니다. 마그네트론 (Magnetron) 은 기질의 최소 침식으로 높은 스퍼터 속도를 제공 할 수 있습니다. 이 도구는 또한 2 개의 기판 홀더를 포함하며, 한 번에 여러 기판에 안전하게 배치하고, 위치를 지정하고, 스퍼터링하는 데 사용할 수 있습니다. 필름 두께를 정확하게 제어하기 위해 3290STQ에는 자동 필름 두께 컨트롤러가 포함되어 있습니다. 이 컨트롤러는 스퍼터 증착률 (sputter deposition rate) 을 모니터링하고 제어하여 전체 기판에 균일성을 보장하도록 설계되었습니다. 에셋에는 컴퓨터 컨트롤러 (Computer Controller) 도 포함되어 있으며, 사용자는 자신의 증착 레시피를 프로그래밍하고 나중에 사용할 수 있도록 저장할 수 있습니다. 이 컨트롤러는 또한 필름 증착 (film deposition) 동안 프로세스를 쉽게 모니터링하고 조정할 수 있으며, 자세한 증착 데이터 로그를 유지합니다. VARIAN 3290 STQ 모델에는 중단 된 증착 모니터링 및 가스 누출 탐지기 등 여러 안전 기능이 장착되어 있습니다. 인터럽트 (Interrupted) 증착 컨트롤러는 필름 증착 (Film Deposition) 프로세스가 중단 또는 중단되면 자동으로 장비를 종료하여 시스템 및 기판의 손상을 방지하도록 설계되었습니다. 가스 누출 탐지기 (Gas Leak Detector) 는 장치 내의 구성 요소에서 발생 가능한 누출을 감지하고 사용자에게 경고하여 진공 챔버 (Vacuum Chamber) 가 밀봉되어 있고 누출이 없도록 합니다. VARIAN 3290STQ 머신 (VARIAN 3290STQ machine) 은 다재다능하고 신뢰할 수있는 스퍼터링 툴로, 다양한 기판에 양질의 박막을 배치하도록 설계되었습니다. 이 자산은 평면 패널 디스플레이, 박막 트랜지스터, 광전자 장치, MEMS 장치 등 수많은 응용 프로그램에 적합합니다. 첨단 안전 기능 및 정확한 프로세스 제어를 통해 3290 STQ는 고품질 박막 (Thin Film) 을 만들려고하는 연구원 및 제조업체에 이상적인 도구입니다.