판매용 중고 VARIAN 3280 #9148915

VARIAN 3280은 생산 등급 반도체 처리 장비 제조업체 인 VARIAN Semiconductor Equipment (VARIAN Semiconductor Equipment) 에서 제조 한 스퍼터링 장비입니다. 이 스퍼터링 시스템은 다양한 애플리케이션에 적합하며 저용량 (low-volume) 프로그램과 대용량 (high-volume) 프로그램 모두에 적합합니다. 3280은 최대 3,900 와트의 고전력 장치입니다. 주 발전기 (Main Generator) 전원 공급 장치로 구동되고 전원 공급 장치가 설정되어 있는 단일 (Single-End) 발전기를 사용하여 고정 DC 출력을 제공합니다. 이 머신은 다양한 기판 크기를 제공하며, 멀티 레이어 (multi-layer) 프로세싱도 가능합니다. 이 도구는 신뢰성이 높으며 최소한의 유지 관리를 제공합니다. VARIAN 3280의 스퍼터링 대상 재료는 일반적으로 코팅 된 티 텅스텐 (ti tungsten) 또는 몰리브덴 (molybdenum) 이며 직접 부착 방법을 통해 기질에 부착 될 수있다. 높은 전류 밀도는 유지되며, 사용자가 필요로 하는 대로 증가하거나 감소할 수 있습니다. 기판 장착 자산은 스테인리스 스틸 스테이지 (stainless stease stage) 2 개와 마운팅이 지원되는 정전기 클램프 (electrostatic clamp) 1 개로 구성되며, 이는 특정 어플리케이션 요구 사항에 따라 쉽게 구성할 수 있습니다. 전체 장치는 진공 챔버 (최대 10-6 Torr) 로 둘러싸여 있습니다. 이 단위의 온도는 최소 520 ° C (520 ° C) 로 유지되며, 이는 스퍼터링에 사용될 수있는 반응성이 높은 금속에 적합합니다. 전체 장치 는 가동 하기 쉬우며, "펄스 '동작 을 포함 한 여러 가지 설정 을 위해" 프로그램' 할 수 있다. 사용자 인터페이스 (User Interface) 는 대화형 (Interactive) 방식이므로 스퍼터링 프로세스의 상태를 쉽게 모니터링하고 반복 가능한 결과에 대한 매개변수를 설정할 수 있습니다. 전반적으로, 3280은 다양한 어플리케이션에 적합한 고품질, 신뢰성 있는 스퍼터링 모델입니다. 안정성이 높고 작동이 간편하며, 유지 보수를 최소화하고, 일관된 결과를 보장합니다. 이 장비는 다양한 재료에 걸친 강력하고 강력한 스퍼터링 기능을 제공하여 도금, 코팅 (coating), 확산 (diffusion) 등 다양한 응용 분야에 대해 박막 (thin film) 을 증착할 수 있습니다.