판매용 중고 VARIAN 3280 #31504

VARIAN 3280은 넓은 기판 영역에서 얇은 필름을 스퍼터링하도록 설계된 강력한 스퍼터링 장비입니다. 광학, 전자, 자재 연구 분야를 위한 유연하고 경제적인 솔루션을 제공합니다. 이 스퍼터링 시스템은 고급 긴 수명 전자 빔 건과 자동화된 3 축 동작 제어 장치 (motion control unit) 및 내장 환경 및 공정 제어 기능을 결합합니다. 3280 기계는 스퍼터링 (sputtering) 을 제어하기 훨씬 쉬워서 압력, 온도, 전류, 기판 위치 등의 매개변수를 정확하게 조정할 수 있도록 설계되었습니다. 이 공구에는 큰 반점 크기와 조절 가능한 빔 전류 (beam current) 를 특징으로하는 전자 빔 건 (electron beam gun) 이 장착되어 있어 반복 가능한 공정 최적화가 가능합니다. 빔 전류는 0 ~ 300mA (0 ~ 300mA) 범위의 폭넓은 값에 따라 정확하게 조정할 수 있으며, 이를 통해 자산이 가장 어려운 물질을 스퍼터링할 수 있습니다. 일관된 스퍼터 코팅 프로세스를 보장하기 위해 VARIAN 3280은 또한 특수 환경 제어를 사용합니다. 통합 된 자동 대기 제어 모델을 사용하면 산소, 아르곤, 질소 가스 수준을 실시간으로 모니터링하여 깨끗하고 효율적인 프로세스를 보장할 수 있습니다. 또한, 장비에는 온보드 온도 모니터링 시스템 (onboard temperature monitoring system) 과 통합 압력 제어 장치 (integrated pressure control unit) 가 포함되어 있어 넓은 기판 영역에서 일관된 스퍼터 코팅 온도를 유지할 수 있습니다. 마지막으로, 3280은 강력한 3 축 모션 컨트롤 머신을 제공하여 커다란 기판 영역을 균일 한 범위로 쉽게 스퍼터링합니다. 이 모션 컨트롤 툴에는 통합 진공 인코더 (vacuum seal), 고해상도 인코더 모듈 (high-resolution encoder module) 및 비동기식 모터 드라이브 (motor drive) 가 장착되어 있어 부드럽고 균일 한 필름 증착을 제공 할 수 있습니다. 요약하자면, VARIAN 3280은 강력한, 비용 효율적인 스퍼터링 자산으로, 넓은 기판 영역에 얇은 필름을 스퍼터링하도록 설계되었습니다. 이 모델에는 고급 전자 빔 건 (Electron Beam Gun), 정교한 환경 및 공정 제어, 신뢰할 수 있고 반복 가능한 스퍼터 코팅 프로세스를 보장하는 강력한 3 축 동작 제어 장비가 있습니다. 3280은 광학, 전자 및 자기 재료 연구 분야에 이상적인 선택입니다.