판매용 중고 VARIAN 3190 #9278288

VARIAN 3190은 단일 또는 다중 대상 응용 프로그램을 위해 설계된 중간 크기의 멀티 타겟 마그네트론 스퍼터링 장비입니다. 3190 은 매우 자동화되고 신뢰할 수 있는 스퍼터링 (sputtering) 플랫폼으로, 다양한 혁신적인 기능을 갖추고 운영 효율성을 높여줍니다. 기본 VARIAN 3190 시스템은 RF 전원 공급 장치, DC 전원 공급 장치, 고 진공 장치 및 단일 또는 다중 대상 스퍼터링 챔버로 구성됩니다. RF 전원 공급 장치는 최대 출력 전원이 10kW 인 13.56MHz 주파수에서 AC 전원을 생성합니다. DC 전원 공급 장치는 최대 작동 전압 (-50/-120V) 으로 최대 1.5kW를 공급할 수 있습니다. 고진공 기계에는 고진공 펌프 (high-vacuum pump), 전체 범위의 탐지기 및 고류 진공 공구가 장착되어 있습니다. 3190 년의 스퍼터링 챔버에는 고출력 RF (Radio-Frequency) 차폐가 장착되어 있으며, 이는 구형 진공 챔버, 내부 자석 및 필드 라인으로 구성되어 RF 전원에서 스퍼터 대상으로의 최적의 에너지 전달을 보장합니다. 표적 자체가 특수 백킹 대상 (backing target) 지원에 장착되어 스퍼터링 중에 이동하지 못합니다. 백킹 대상 지원은 또한 타겟을 쉽게 변경할 수 있는 방법을 제공합니다. VARIAN 3190은 다양한 기능을 제공하여 연구, 개발, 생산 응용 분야에 이상적인 자산이 됩니다. RF 전원 공급 장치는 스퍼터링 된 증착율을 정확하게 제어하기 위해 프로그래밍 가능한 PWM (pulse-width modulation) 을 제공합니다. DC 전원 공급 장치를 사용하면 스퍼터링된 재료를 방향성 있게 제어할 수 있으므로 유연성이 향상됩니다. 고주파 RF 소스는 35 나노미터 크기의 기능 크기도 생성합니다. 3190의 스퍼터링 챔버는 또한 여러 가지 추가 기능을 제공합니다. 여기 에는 표적 온도 를 정확 하게 조절 하는 능력 과 "아르곤 '" 가스' 압력 을 "챔버 '내 에서 정확 하게 제어 하는 능력 이 포함 된다. VARIAN 3190은 또한 안전 및 신뢰성을 높이기 위해 압력 인터 록 (Pressure Interlock) 및 저류 차단 (Low-Flow Shoff) 을 포함한 다양한 안전 기능을 제공합니다. 3190 스퍼터링 모델은 스퍼터 증착 응용에 유연성과 정확성을 모두 제공합니다. 다양한 연구, 개발, 생산 어플리케이션에 쉽게 통합할 수 있는 안정적이고 고성능 (HPD) 장비 설계가 특징입니다. 바리안 3190 (VARIAN 3190) 은 신뢰할 수 있고 비용 효율적인 스퍼터링 시스템으로, 다양한 과학 및 산업 상황에서 활용 될 수 있습니다.