판매용 중고 VARIAN 3190 #9277865

VARIAN 3190은 고급 박막 증착을 위해 설계된 모바일 스퍼터링 장비입니다. 이 제품은 6 스테이션 프로세스 챔버 (chamber) 구성을 갖추고 있으며 최첨단 전자 제품 및 부품을 장착하여 안정적이고 반복 가능한 결과를 제공합니다. 최대 6 개의 스퍼터 챔버 (sputter chamber) 가 가능한 공정 챔버 (process chamber) 는 각 공정 챔버를 독립적으로 제어하여 복잡한 레이어 구성과 쉬운 레시피 전송을 허용합니다. 챔버는 진공과 호환되며, 빠른 펌프 다운 시간은 5 분 미만입니다. 터보 분자 RGA (turbo-molecular RGA) 를 내장하여 챔버 압력을 제어하여 10-6 Torr 하에서 궁극적 인 압력을 가할 수 있습니다. 챔버는 평면, 선 또는 열 대상을 최대 14 "x 8" 로 구성하고 최대 5000 와트의 전원 수준을 제공합니다. 3190에는 스퍼터 속도 (sputter rate), 소스 전류 (source current), 기판 온도 (substrate temperate rate) 및 기타 프로세스 매개변수를 모니터링하는 데 사용할 수있는 고급 프로세스 제어 시스템이 장착되어 있습니다. 프로세스 제어 장치 (process control unit) 를 사용하면 처리 매개변수를 최적화하여 최상의 결과를 얻을 수 있습니다. 이 기계는 고도로 자동화된 프로세스로, 내부 PC에 레시피가 저장됩니다. 이를 통해 레시피의 빠른 설정과 전송, 프로세스 추적 및 프로세스 최적화 (process tracking and process optimization) 를 수행할 수 있습니다. 또한 VARIAN 3190은 금속, 산화물 및 질화물을 포함한 광범위한 물질을 증착 할 수 있으며, 직류 (DC) 에서 고주파 (HF) 스퍼터링, 전자 사이클로트론 공명 (ECR) 스퍼터링 및 근접 결합 마그네트론. 3190은 실험실 및 산업 스퍼터링 어플리케이션을위한 탁월한 선택을 제공하며, 가변 코터 (variable coater) 와 뛰어난 로우-k 처리 기능으로 안정적이고 반복 가능한 프로세스를 제공합니다. 강력한 설계, 다용도 프로세스 기능, 고급 프로세스 제어 기능을 갖춘 VARIAN 3190 은 최고의 스퍼터링 시스템 중 하나입니다.