판매용 중고 VARIAN 3190 #9277529

VARIAN 3190 (VARIAN 3190) 은 다양한 박막 증착에 사용될 수있는 다목적 스퍼터링 장비입니다. 이 시스템은 스퍼터링 챔버, 진공 펌프, 냉각 시스템 및 관련 구성 요소로 구성됩니다. 설계는 매우 구성 가능합니다. 즉, 구성 요소는 애플리케이션의 특정 요구 사항에 맞게 개별적으로 조정할 수 있습니다. 스퍼터링 챔버 (sputtering chamber) 는 압출 된 알루미늄 프레임으로 구성되어 강성과 열 성능, 스테인리스 스틸 챔버를 향상시킵니다. "세라믹 '전자" 빔' 총 은 약품 의 정확 한 스퍼터링 을 위해 상단 에 장착 된다. 그것 은 전자석 을 갖추고 있는데, 그것 을 이용 하여 광범위 한 표적 재료 를 처리 할 수 있다. 또한 2 개의 컴퓨터 모니터 포인트와 배기 시스템 (배기 시스템) 이 포함되어 있어 프로세스 가스를 효율적으로 모니터링하고 대피할 수 있습니다. 공정 가스는 전용 폐쇄 루프 저수지를 통해 처리됩니다. 이렇게 하면 공정 주기 (process cycle) 에 들어가면서 재료가 깨끗하고 순수하게 유지됩니다. 고류 및 고압 기계식 펌프는 진공 챔버로 지속적으로 통제 된 가스 흐름을 보장합니다. 사전 설정된 온도에서 공정 챔버 (process chamber) 를 유지하는 데 사용할 수있는 터보 분자 펌프 (Turbomolecular pump) 에 연결된 냉각 장치도 있습니다. 3190 기계에는 다양한 안전 기능도 포함되어 있습니다. 이 지역에는 오존 (Ozone) 및 VOC 센서와 압력 모니터링 시스템 (Pressure Monitoring System) 이 장착되어 있으며, 이 지역의 직원 안전을 보장합니다. 또한 소프트웨어 인터페이스에는 실시간 데이터 모니터링 (Real-Time Data Monitoring) 및 경보 (Alarm) 와 같은 여러 기능이 있으며, 이를 통해 수행 중인 프로세스의 안전성과 효율성을 보장할 수 있습니다. 또한, 다양한 CAD 소프트웨어 패키지를 포함한 다른 시스템과 쉽게 상호 작용할 수 있으며, 이를 통해 사용자는 손쉽게 설계, 시뮬레이션할 수 있습니다. 전반적으로 VARIAN 3190은 매우 효과적이고 효율적인 스퍼터링 도구입니다. 다중 구성 설계, 다양한 안전 (Safety) 기능 및 연결 옵션을 통해 다양한 씬 필름 증착 (Thin Film Deposition) 작업을 손쉽게 선택할 수 있습니다. 업종이나 연구 응용프로그램을 위한 완벽한 솔루션이라 할 수 있는 안정적인 성능과 내구성 (내구성) 을 자랑합니다 (영문).