판매용 중고 VARIAN 3190 #9244764

바리안 3190 (VARIAN 3190) 은 과학 연구 분야에서 일반적으로 광범위한 응용 분야에 사용되는 스퍼터링 장비입니다. 이 기계에는 일관된 마이크로 프로세서 기반 하드웨어/소프트웨어 아키텍처로 설계된 컨트롤러와 여러 샘플 지원 보유자가있는 진공 챔버 (vacuum chamber) 가 포함되어 있습니다. 이 스퍼터링 시스템에는 전자 방출 (EE) 소스가 장착되어 있는데, 이 소스는 강렬한 집중 전자 빔을 사용하여 샘플 표면 층에서 금속 이온을 흥분시켜 얇은 짝수 필름을 생성합니다. 3190 스퍼터링 장치는 모든 디지털 시스템 아키텍처를 사용합니다. 이 기계는 610mm x 610mm x 150mm 크기의 진공 챔버를 특징으로하며, 샘플 지원 홀더뿐만 아니라 여러 개의 액세스 포트, 진공 펌프 및 압력 게이지가 있습니다. 홀더는 EE 소스에 연결된 전극 (electroad) 세트로 설계되어 스퍼터링 (sputtering) 을 위해 광범위한 샘플을 홀더에 배치 할 수 있습니다. 스퍼터링 프로세스는 컨트롤러로 구동되는 여러 EE 소스에 의해 구동됩니다. 이러 한 근원 들 은 연속적 인 전자 광선 을 "샘플 '기판 의 표면 에 방출 하도록 구성 되어 있으며, 전자 들 은" 샘플' 의 금속 "이온 '과 상호 작용 하여 얇고 균일 한" 필름' 혹은 "코우팅 '을 만든다. 이 얇은 층은 최적의 샘플 보존에 필수적이며, 적절한 에너지 수준을 가진 EE 소스 (EE source) 를 선택하여 다양한 재료를 달성 할 수 있습니다. 또한, VARIAN 3190 스퍼터링 도구에는 디지털 도량형 (digital metrology) 기능이 장착되어 증착 된 재료의 두께를 정확하게 제어 할 수 있습니다. 두 가지 주요 도량형 특징은 "두께 도량형" 과 "가장자리 도량형" 입니다. 전자는 광학 지형을 사용하여 샘플의 평균 레이어 두께를 측정하고, 후자는 샘플 모서리 두께 (thickness) 를 측정합니다. 3190 스퍼터링 에셋은 모델과 호환되는 다양한 액세서리를 제공합니다. 여기에는 추가 EE 소스, 기판 전원 공급 장치, 매개변수 모니터링 소프트웨어 및 다양한 특수 진공 펌프가 포함됩니다. 전반적으로 VARIAN 3190 스퍼터링 모델은 학술 및 산업 환경의 연구원들에게 이상적인 선택입니다. 즉, 얇고, 균등하고, 일관된 재료 예금을 위해 사용하기 쉽고 저렴한 솔루션을 제공합니다. 유연한 액세서리 (accessory) 와 기능 또한 다양한 어플리케이션에 매우 적합합니다.