판매용 중고 VARIAN 3190 #9237465
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ID: 9237465
웨이퍼 크기: 5"
Sputtering system, 5"
Power cabinet:
(3) Gun controls
Control cabinet
Cryo pump
Does not include compressor.
VARIAN 3190 스퍼터링 시스템은 박막 증착 응용 프로그램에 사용되는 강력하고 신뢰할 수있는 장비입니다. 그것 은 자재 의 얇은 "필름 '을 조종 된 분위기 속 에 기판 에 배치 하도록 설계 되었다. 스퍼터링 (sputtering) 에서, 물질은 플라즈마 유도 입자의 폭격을 통해 표적원에서 기질로 전달된다. 3190은 높은 정확도, 반복 가능성 및 다용도로 표면을 수정할 수 있습니다. 이 시스템은 조절 가능한 빔 에너지 (beam energy level) 를 제공하여 스퍼터링 속도를 조정하여 다양한 필름 특성을 산출합니다. 또한 멀티 테이블 구성을 사용하여 대상과 기판 사이의 입자 충돌을 최소화합니다. 고급 프로그래머블 컨트롤러 (Advanced Programmable Controller) 패널을 사용하면 대상 크기, 모양, 대상 거리 (Target Size, Shape, Distance) 와 같은 여러 변수를 기판까지 설정하고 제어할 수 있습니다. VARIAN 3190은 또한 MTMS (Multi-Target Magnetic Shielding) 기능을 통해 높은 수준의 기판 균일성을 제공합니다. MTMS (MTMS) 는 스퍼터링 공정에서 길 잃은 입자에 의한 기질의 폭격을 방지하여 퇴적 된 필름의 핀홀링을 제거한다. 또한 스퍼터링 중에 일관된 대상-기판 거리 및 입자의 궤적을 보장합니다. 안전성 면에서 보면, 3190 번에는 운전자가 증착 (deposition) 과정을 시작할 때마다 직선 (direct line of sight) 을 차단하는 보호 실드가 장착되어 있습니다. 또한 소음 배출을 줄이고 위험없는 작업 공간을 유지하는 배기 시스템 (Exhaust System) 도 함께 제공됩니다. 바리안 3190 (VARIAN 3190) 은 강력하고 신뢰할 수있는 스퍼터링 툴로 다양한 증착 프로세스에 사용할 수 있습니다. 다양한 조정 가능한 빔 매개변수, 프로그래밍 가능한 컨트롤러 패널, MTMS 기술을 제공하여 사용자에게 고급 박막 증착 응용 프로그램에 필요한 정밀도를 제공합니다. 또한 안전하고 편안한 작업 환경에 필요한 고급 안전 (Advanced Safety) 기능을 제공합니다.
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