판매용 중고 VARIAN 3190 #9184622

VARIAN 3190 (VARIAN 3190) 은 매우 정밀한 스퍼터링 장비로, 다양한 기판에 초박막 층을 증착하도록 설계되었습니다. 주로 반도체 칩, 평면 패널 디스플레이, 태양 전지와 같은 광전자 장치 제작에 사용됩니다. "스퍼터링 '장치 는 진공실 꼭대기 에 장착 되는" 마그네트론' 음극 과 관련 된 과정 을 이용 하여 작용 한다. 이 마그네트론 음극은 교류 (AC) 전원 공급 장치에 의해 에너지화되며, 에너지 이온이있는 대상 재료를 폭격합니다. 이러 한 폭격 으로 표적 물질 이 분출 되고, 양전하 "이온 '이 분출 되고, 그" 이온' 은 진공실 에 놓인 기판 에 끌리게 된다. 이 이온들은 기판에 침전되어 박막 층을 형성합니다. 3190은 박막 증착에 이상적인 많은 기능을 제공합니다. 전자 제어 장치는 전력, 듀티 사이클, 증착률, 압력 등 스퍼터링 매개변수의 정확한 프로그래밍을 허용합니다. 이 기계는 또한 진공 챔버 (vacuum chamber) 의 정확한 폐쇄 및 개방을위한 고정밀 셔터 메커니즘을 특징으로합니다. 이 기능은 박막 층의 균일하고 일관된 증착에 중요합니다. 바리안 3190 (VARIAN 3190) 은 다양한 스퍼터링 구성을 제공하여 사용자가 다양한 유형의 기판 및 대상 재료를 증착 과정에 통합 할 수 있습니다. 공구는 단일 마그네트론 음극 (magnetron cathode) 을 사용하여 구성하거나, 여러 마그네트론을 쌓은 구성으로 사용할 수 있습니다. "스퍼터링 '과정 은 외부 자기장 을 첨가 함 으로써 더욱 강화 될 수 있으며, 따라서" 스퍼터링' 된 "이온 '의 방향 을 조정 하여 결함 이 적은 더 균일 한" 필름' 을 만들어 낼 수 있다. 3190 자산은 신뢰할 수 있고 사용자에게 친숙한 스퍼터링 모델입니다. 사용하기 쉽고, 박막 증착에서 뛰어난 균일성을 제공합니다. 광전자 (optoelectronic) 와 기타 다양한 장치를 제작하는 데 이상적이며, 안정성과 성능이 뛰어난 필름 (film) 을 증착할 수 있습니다.