판매용 중고 VARIAN 3190 #9112440

VARIAN 3190 (VARIAN 3190) 은 고성능 스퍼터링 장비로, 모든 생산 속도로 정밀한 테스트 필름을 매우 깨끗하고, 효율적이며, 제어하기 쉬운 증착을 제공하도록 설계되었습니다. 그것은 우수한 기판 적용 범위와 높은 증착률을 위해 3 가지 스퍼터블 소스를 사용합니다. 이 시스템은 3 상 전원 공급 장치에 의해 구동되는 저에너지, 고속 펄스 방전 (pulsing discharge) 을 중심으로 설계되었습니다. 이 구성을 통해 기판 표면 전체에 걸쳐 매우 균일 한 물질 증착과 매우 빠른 스퍼터 타임 (sputter time) 을 가능하게하며, 대체 시스템에서 예상보다 깨끗한 표면을 생성하면서 증착률이 크게 증가합니다. 3190은 완전히 구성 가능한 인터페이스를 통해 증발 속도, 필름 두께, 온도, 압력, 펄스 주파수 및 기타 매개변수를 정확하게 제어 할 수 있습니다. 모듈 식 구성은 쉽게 장치 통합과 빠른 도구 변경을 위해 설계되었습니다. 기존 레거시 컨트롤러 설계와 통합될 수도 있습니다. VARIAN 3190은 여러 대상에 걸쳐 열 관리 및 균일 한 증착을 통해 완전한 프로세스 자동화를 제공합니다. 또한 전도성, 반 전도성, 보호 필름 레이어와 같은 맞춤형 필름 조합을 제공하기 위해 스퍼터 소스 (옵션) 를 제공합니다. 3190은 자기 디스크, 구리 합금 대상, 초미세 금속 목표를 포함하여 큰 목표 선택을 가지고 있습니다. 그 결과, "머신 '은 원하는 재료 구성 과 생산률 에 맞추어 최적화 될 수 있다. 독점적 인 도금 기술은 균일성을 향상시키고 과도한 펌핑으로 인한 손실을 줄여 비용을 줄입니다. 이 도구는 또한 금속 산화물, 질화물과 같은 유전체 및 광학 코팅을 생성하는 데 적합합니다. VARIAN 3190은 뛰어난 필름 균일성, 높은 증착율, 초고정도, 뛰어난 표면 품질을 요구하는 응용 분야에 적합합니다. 다기능 설계를 통해 최고의 비용 절감 효과와 유연성을 제공함으로써 모든 운영 요구 사항을 충족할 수 있으며, 시스템 구성요소는 안정적으로 성능, 신뢰성을 보장합니다. 초정밀 연구 프로젝트부터 대규모 상용 사업까지 다양한 응용프로그램에서 다양한 스퍼터링 (sputtering) 요구 사항에 적합한 솔루션은 3190 입니다.