판매용 중고 VARIAN 3190 #9056309

VARIAN 3190 장비는 전자, 의료, 광학 (optical) 과 같은 광범위한 응용 분야를 위해 박막 (thin film) 을 다양한 기판에 고정밀하게 증착하도록 설계된 고급, 매우 높은 진공 스퍼터링 시스템입니다. 이 스퍼터링 장치는 이온 소스, 전원 공급 장치, 고진공 챔버, 로터리 피드 스루, 계기 패널 등 여러 구성 요소를 사용합니다. 3190의 이온 소스는 무선 주파수 (RF) 플라즈마 생성기입니다. 광범위한 기질 온도에서 고이온화 된 플라즈마를 생성 할 수 있으며, 이는 균일 한 필름 증착을 보장하는 데 도움이됩니다. 또한 RF "플라즈마 '발전기 는" 플라즈마' 의 강도 와 균일성 을 필요 에 따라 조정 할 수 있는 자동 동력 조절 을 가지고 있다. 기계의 전원 공급 장치 (power supply) 는 일관된 결과를 위해 정밀한 전원 제어 및 전압 조절을 제공합니다. 즉, 사용된 각 기판 유형에 대해 정확한 전원 수준 (power level) 과 전압 (voltage) 을 설정할 수 있습니다. 또한, 도구의 구성 요소가 손상되지 않도록 호 감지 (arc sensing) 및 발사 (fire) 보호 기능이 있습니다. 고진공 챔버 (high-vacuum chamber) 는 증착 공정에 누수 환경을 제공하도록 설계된 스테인리스 스틸 챔버입니다. 이 제품은 2 개의 고정밀 개스킷 (고밀도 개스킷) 을 장착하여 챔버의 2 개 반을 봉쇄하여 박막 증착을위한 진공 환경을 보장합니다. 온도 범위는 -67 ° F ~ 662 ° F로 광범위한 응용 프로그램을 제공합니다. 로터리 피드 스루 (rotary feedthrough) 는 진공을 열지 않고 챔버에 기판을 도입하는 수단을 제공합니다. 이것은 챔버에 대한 오염을 줄이고 균일 한 필름 증착을 보장하는 데 도움이됩니다. 피드 스루 (feedthrough) 는 쉽게 접근 할 수 있도록 챔버 바닥에 내장되어 있습니다. 계기판 (instrument panel) 은 챔버 측면에 있으며 프로세스 매개변수에 대한 사용자 판독값과 제어를 제공합니다. 또한 챔버 내부의 압력을 모니터링하기위한 진공 게이지도 포함되어 있습니다. 전반적으로 VARIAN 3190은 정확하고 균일 한 박막 코팅을 생산하도록 설계된 강력하고 정밀한 스퍼터링 자산입니다. 여기에는 다양한 전력 및 온도 설정, 통합 로터리 피드 스루 (feedthrough) 및 계기 패널 (instrument panel) 이 있습니다. 따라서 다양한 애플리케이션에 이상적인 선택이 됩니다.