판매용 중고 VARIAN 3190 #9002890

VARIAN 3190은 물리적 증기 증착 (PVD) 및 표면 청소에 사용되는 스퍼터 코터 장비입니다. 이 고급 장비에는 자동 스퍼터 소스, 양극과 표적 모양의 전극 시스템, 고 진공 챔버 등이 있습니다. 효율적이고 일관된 스퍼터링 (sputtering) 을 위해 설계된 3190은 반도체 제작 및 기타 산업 응용 분야에 적합합니다. VARIAN 3190은 금속, 실리콘 및 기타 비금속 화합물을 포함한 모든 종류의 물질을 스퍼터링 할 수 있습니다. 또한 정확한 코팅 제어를 위해 큰 목표 모양의 전극 장치를 가지고 있습니다. 또한 높은 정확도, 매우 균일 한 입자 크기로 스퍼터팅 (sputter) 하여 최고 품질의 코팅을 보장 할 수 있습니다. 기계는 또한 최대 1 인치 직경과 4 인치 높이의 샘플을 처리 할 수 있습니다. 성능 측면에서, 3190은 초저전력에서 초고전력까지 광범위한 증발 범위를 가지고 있습니다. 고진공 챔버는 최대 5E-4 Torr의 펌핑 속도를 갖습니다. 이 챔버 (Chamber) 는 또한 특허를받은 스로틀링 (throttling) 설계를 특징으로하며 코팅 공정에서 재생성과 최소 입자 파편을 보장합니다. 또한, 이 도구의 운송 자산 (transport asset) 은 빠른 재료 교환 속도를 특징으로하여 샘플 처리 및 처리량을 적시에 허용합니다. VARIAN 3190에는 고급 제어 모델도 있습니다. 이렇게 하면 사용자가 주기 동안 스퍼터링 및 기타 매개변수를 정확하게 모니터링할 수 있습니다. 또한 운영자는 특정 요구 사항을 충족하기 위해 처리 매개변수 (processing parameters) 를 빠르고 예측 가능한 조정할 수 있습니다. 마지막으로 3190은 사용하기 쉽고 유지 관리가 용이합니다. 자동 시작 및 종료 시퀀스와 함께 사용자의 개입을 최소화할 수 있도록 설계되었습니다. 유지 보수 요건은 최소화됩니다. 즉, 장비에는 자동 청소 기능이 포함되어 있으며, 일반 청소 및 서비스를 쉽게 이용할 수 있기 때문입니다. 전반적으로 VARIAN 3190은 안정적이고 고급 스퍼터 코터 시스템으로, 정밀 코팅 응용 분야에 적합합니다. 자동화된 기능, 조절 가능한 증발 범위, 신뢰할 수있는 제어 장치 (Control Unit) 는 효율적이고 일관된 PVD 처리 결과를 추구하는 사람들에게 이상적인 선택입니다.