판매용 중고 VARIAN 3190 #50850
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ID: 50850
웨이퍼 크기: 5"
Sputtering system, 5"
(3) DC power supplies: Conmag, 12kW
Controller: Fluke 1722A
Ver: 3.1, CTI-TORR 8, installed.
VARIAN 3190 스퍼터링 (sputtering) 장비는 다양한 기판에 얇은 재료를 배치하도록 설계된 다재다능하고 고성능 스퍼터링 도구입니다. 최첨단 시스템은 마그네트론 스퍼터링 (Magnetron Sputtering) 기술을 사용하여 높은 품질과 반복성으로 영화를 입금 할 수 있습니다. 3190은 우수한 균일성, 더 나은 스텝 커버리지, 더 큰 프로세스 유연성, 다양한 필름 매개변수 (film parameter) 와 함께 증착률이 높은 독특한 소스 디자인을 갖추고 있습니다. 또한 고급 프로세스 제어로 최고의 스퍼터 레이트 (sputter rate) 및 기타 균일 한 스퍼터링 성능을 달성합니다. VARIAN 3190은 강력한 멀티 타겟 스퍼터링 시스템으로 투명 필름 (transparent film) 과 이진 필름 (binary film), 유기 필름 (organic film), 유전체 (dielectric layer) 및 전도성 층 (conductive layer) 을 포함한 다양한 재료에 사용될 수 있습니다. 스토리지 미디어, 평면 패널 디스플레이, 데이터 스토리지, 광 구성 요소 등 다양한 애플리케이션을 지원합니다. 이 장치는 각 사용자의 요구에 따라 3 가지 구성으로 제공됩니다. 1 x 2 배열에서 최대 3 개의 대상을 수용 할 수 있으며 최대 2700 와트의 RF/DC 전원 공급 장치를 포함합니다. 이 기계는 또한 광범위한 프로세스 매개 변수와 매개 변수를 제공합니다. 3190은 또한 여러 자동화 옵션을 제공하여 효율성을 향상시킵니다. 여기에는 샘플을 쉽게 처리할 수 있는 회전 트롤리 (Rotation Trolley), 더 큰 프로세스 제어 및 샘플 측정을 위한 자동 종료 (auto-shut down), 필름 특성을 정확하게 제어하는 두께 매핑 기능이 포함됩니다. 전반적으로 VARIAN 3190 (VARIAN 3190) 은 최신 기술이 적용된 안정적이고 다양한 스퍼터링 툴로, 광범위한 어플리케이션에 적합합니다!
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