판매용 중고 VARIAN 3180 #9278289

VARIAN 3180은 박막 증착을 위해 설계된 최첨단 스퍼터링 장비입니다. 다양한 스퍼터링 애플리케이션을 위한 탁월한 성능과 제어 기능을 제공합니다. 3180은 통합 된 6 스테이션 회전 가능 기판 홀더가있는 3 축 동작 제어 시스템을 사용하여 정확한 필름 증착률 및 균일성을 보장합니다. 이 장치에는 3인치 (76mm) 의 큰 스퍼터 건 (Sputter Gun) 이 있으며, 푸메 쉴드에 의해 연기와 입자에 대해 보호됩니다. 최대 4 개의 스퍼터 건 (Sputter Gun) 을 머신에 연결하여 단일 타겟 및 이중 타겟 증착을 허용하여 처리량을 늘릴 수 있습니다. VARIAN 3180에는 증착 공정의 동시 모니터링 및 제어를 위해 Vacuum 10.1 인터페이스가 장착되어 있습니다. 이 컨트롤러를 사용하여 사용자는 증착율, 유량, 압력 및 온도를 모니터링하고 제어할 수 있습니다. 이 도구에는 균일 한 증착을위한 실시간 온도 및 주파수 제어가 포함됩니다. 또한 아르곤, 산소, 질소, 수소 및 할로겐을 포함하여 최대 7 개의 공정 가스를 지원합니다. 자산은 1 x 10-4 Torr 정도의 압력에 도달 할 수 있으며, 이는 상업용 스퍼터 모델에 의해 가장 높은 성과입니다. 이는 박막 광전자 및 마이크로 일렉트로닉스 응용 프로그램과 같은 매우 높은 진공 스퍼터링 응용 프로그램에 적합합니다. 장비는 거의 모든 기판 재료와 호환되며 직경이 최대 8 "(200mm) 인 기판을 수용 할 수 있습니다. 이 시스템은 흑연 필라멘트 장치 (graphite filament unit) 를 갖추고 있으며, 높은 작동 온도에서도 우수한 균일성과 낮은 침식 속도를 제공합니다. "흑연" 필라멘트 '기계 는 또한 기판 에 도달 하는 전자 의 양 을 줄여, 고온 과정 에 이상적 이다. 마지막으로, 3180 은 우수한 안전 기능을 제공하며, 유지 보수 및 수리를 위한 간편한 액세스 설계를 제공합니다. 공구가 실행되는 동안 스퍼터 건 (sputter gun) 의 원치 않는 동작을 방지하는 측면 모션 안전 (Side Motion Safety) 기능도 갖추고 있습니다. 결론적으로, VARIAN 3180은 광범위한 어플리케이션에 이상적인 강력하고 안정적인 스퍼터 자산입니다. Vacuum 10.1 컨트롤러, 실시간 온도, 주파수 제어, 흑연 필라멘트 모델 등의 기능을 갖춘 뛰어난 성능, 정밀도 및 제어 기능을 제공합니다.