판매용 중고 VARIAN 3180 #9269837

바리안 3180 (VARIAN 3180) 은 실험실, 연구 및 생산 시설의 요구 사항을 충족하도록 설계된 작고 효율적인 스퍼터 증착 장비입니다. 공정 균일성 (process unifority) 과 증착률 (deposition rate) 에 최적화되어 광범위한 재료를 정확하게 제어할 수 있습니다. 멀티 레이어 필름, 균일 코팅, 복잡한 모양, 특수 텍스처 등 다양한 패턴을 만들 수 있습니다. 이 시스템에는 다양한 어플리케이션에 맞게 다양한 챔버 구성이 제공됩니다. 최적의 크기 (공간 보존에 충분하지만, 복잡한 작업을 수용하기에 충분히 큰 크기) 는 정밀도, 처리량, 프로세스 제어의 탁월한 조합을 제공합니다. 또한 진공 장치, 온도 조절 기판 홀더 및 잘 절연 된 마이크로 파 플라즈마 소스를 특징으로합니다. 기계의 고유 한 특징은 다중 계층 증착 (multi-layer deposition) 과 동일한 기판에 동시에 스퍼터링 (sputtering) 을 갖는 복잡한 구조를 형성하는 기능입니다. 공구는 두 개의 별개의 부품 (프로세스 챔버 및 전원 공급 장치) 으로 구성됩니다. 공정 챔버 (process chamber) 는 전체 크기 자산과 동일한 요구 사항을 충족하도록 설계되었습니다. 내부 기능은 뛰어난 프로세스 균일성과 처리량에 최적화되어 있습니다. 부식 및 열 충격에 저항하는 내구성 물질로 만들어집니다. 전원 공급 장치는 매우 효율적이며 고조파 왜곡이 낮습니다. 여기에는 DC 바이어스, 반응성 바이어스 및 이온 에너지의 3 가지 독립적으로 규제 된 공급이 포함되어 있습니다. 이러한 컴포넌트를 통해 모델은 고온과 스퍼터 속도 (sputter rate) 에서도 원하는 출력 전력을 일관되게 공급할 수 있습니다. 3180은 고급 박막 증착을위한 매우 다재다능한 스퍼터링 장비입니다. 운영 효율성, 사용 편이성, 탁월한 공간 균일성을 통해 대규모/소규모 생산 어플리케이션 모두에 이상적인 선택이 가능합니다.