판매용 중고 VARIAN 3180 #9242140

VARIAN 3180 장비는 박막 증착 프로세스에 사용되는 스퍼터링 증착 도구입니다. 우수한 플라즈마 균일성을 위해 특허를받은 HMM (Hybrid Magnetron Head) 를 장착하여 산업 규모 생산에 매우 적합합니다. HMH는 정적 및 동적 마그네트론 구성과 정확하게 제어 된 자기장을 결합합니다. 즉, 운영 표준을 충족하는 데 필요한 최적의 전력 안정성과 균일성을 제공합니다. 이 시스템에는 독립 가스 파일럿 컨트롤, 고출력 공급 장치, 터렛 로터리 스퍼터링 소스가있는 멀티 타겟 하우징도 있습니다. 또한 디지털 프로세스 매개변수 조정 제어 (digital process parameter adjustment control) 를 통해 스퍼터링 프로세스를 빠르고 쉽게 설정할 수 있습니다. 3180은 PVD (physical vapor deposition) 에 적합하며 다양한 박막 응용 프로그램을 생성 할 수 있습니다. 예를 들어, 투자자들은 스퍼터링 증착 과정을 사용하여 마모 내성, EMI 차폐, 전기 결합 등 다양한 응용 분야에 알루미늄, 티타늄, 구리, 금 및 은을 포함한 다양한 금속을 적용 할 수 있습니다. 또한 이중 소스 (dual source) 구성 덕분에 높은 처리율을 제공할 수 있습니다. 또한 이 도구는 고급 프로세스 제어 기능을 제공합니다. 여기에는 실시간 모니터링 (Real-time Monitoring) 및 데이터 수집 장치 (Data Collection Unit) 가 포함되어 있어 프로세스 실행 방법을 분석하고 실시간으로 최적화할 수 있습니다. VARIAN 3180은 반복 가능한 성능으로 고품질의 박막을 제공하도록 설계되었습니다. 이는 압력 (pressure), 힘 (power), 필름 특성 (film properties), 균일성 (uniformity) 및 자동화된 터치스크린 인터페이스를 통해 조정할 수 있는 기타 프로세스 매개변수와 같은 프로세스 제어 메트릭을 사용하여 보장됩니다. 이 스퍼터링 머신 (Sputtering Machine) 은 최적의 성능으로 처리량이 필요한 산업 어플리케이션에 이상적인 솔루션입니다. 멀티 타겟 구성과 효율적인 전원 공급 장치 (Power Supplies) 는 반복 가능하고 안정적인 프로세스 결과를 제공하므로 연구/운영 환경 모두에 적합한 솔루션입니다.