판매용 중고 VARIAN 3180 #9238713

VARIAN 3180은 다양한 재료를 증착하고 에칭하도록 설계된 다재다능한 DC 스퍼터링 장비입니다. 영구 자석 스퍼터링 (sputtering) 기술을 활용하여 균일성이 향상되고 접착 강도가 높아진 박막을 만듭니다. 이 기술은 또한 정확한 분자 층 조절을 통해 복잡한 다층 스택을 증착 할 수 있습니다. 3180은 프로세스 반복성과 더 큰 처리량을 위해 완전히 자동화되었으며, 2 개의 마그네트론과 2 개의 타겟 어셈블리 (각 대상 어셈블리에 대해 독립적이거나 결합된 암프, 열 스퍼터링용 튜브 챔버, 선택적 스토리지 챔버, 지능형 진단 시스템) 가 장착되어 있습니다. VARIAN 3180은 유전체, 금속, 반도체, 강자성 및 절연 재료를 포함하여 광범위한 재료를 배치할 수 있습니다. 광학 및 전기 재료 증착, 보호 필름, 화학 에칭, 설계 수정을위한 에칭 등 다양한 응용을 수행 할 수 있습니다. 일정한 전원 공급 장치, 각 음극에 대한 전력 조절 능력, 목표 온도 조절 기능 (Target Temperature Control) 을 통해 고품질 필름의 증착을 최적화할 수 있습니다. 3180은 6 인치 직경의 챔버로 구성되며, 각각 3 개의 챔버 벽이 있으며 각각 멀티 슬릿 공준이 있습니다. 상단 벽 (top wall) 은 기판의 재료 증착, 하단 벽 (bottom wall) 은 챔버 대피, 중간 벽 (middle wall) 은 대상의 수직 정렬을 돕습니다. 약실에는 독립적 인 헬륨 퍼지 (helium purge) 와 이중 클릭 (double-click) 이 장착되어 공정에서 산소 농도가 감소합니다. 증착 중 압력을 0.001 mbar에서 1.3 mbar까지 지속적으로 변화시키는 기능은 프로세스 매개변수를 정확하게 조정하고 증착율, 필름 두께, 기판 균일성을 최적화하는 데 도움이됩니다. 가변 전력 (variable power), 목표 온도 제어 (target temperature control), 필름 성능 향상을 위한 기판 회전 등 다양한 프로세스 제어 기술도 사용할 수 있습니다. 통합 PC 기반 컨트롤러는 광범위한 레시피 스토리지, 프로세스 모니터 및 제어, 실시간 진단 제어, 데이터 로깅 기능을 제공합니다. 또한, 컴퓨터 제어 기판 위치 지정기는 정확한 기판 위치를 보장합니다. VARIAN 3180에는 필름 두께 측정을위한 4 턴 쿼츠 결정 모니터와 증착 공정의 실시간 모니터링을위한 현장 (in-situ) 및 전 (ex-situ) 반사 측정 도구가 있습니다. 이 자산에는 코팅 전에 샘플 부품 청소를위한 초음파 욕조 (ultrasonic bath) 와 전기 전도성 측정을위한 쿼츠 셀 (quartz cell) 이 장착되어 있습니다. 전체적으로 3180 은 단일 모델에서 가장 효율적인 증착, 에칭 (etching), 이온 밀링 기능을 제공하여 다양한 애플리케이션에 적합합니다. 이 기능을 통해 고품질, 균일성, 높은 처리량으로 필름을 제어할 수 있습니다.