판매용 중고 VARIAN 3180 #9237469

VARIAN 3180은 반도체 분석, 마이크로 일렉트로닉 제조, 금속 증착과 같은 산업 및 연구 응용을 위해 설계된 판형 스퍼터링 장비입니다. 이 시스템은 진공실, 전원 공급 장치, 제어 장치 및 여러 스퍼터 소스로 구성됩니다. 챔버는 스테인리스 스틸 (stainless steel) 로 만들어졌으며 직경은 약 1090mm, 높이는 1820mm 인 원통형 모양입니다. 스퍼터 소스 (sputter source) 와 다른 컴포넌트를 연결할 수있는 상단에 플랜지 (flange) 가 있습니다. 방에는 일련의 뷰 포트 (viewports) 가 장착되어 있어 장치가 실행되는 동안 직접 관찰 할 수 있습니다. 전원 공급 장치는 고전압, 고주파 (High Frequency) 발생기로 최대 24.6kW의 스퍼터링 전력을 생산할 수 있습니다. DC-DC 컨버터 (converter) 를 통해 챔버에 연결되어 전원 입력을 조절하고 안정적인 작동을 보장합니다. 그 에 더하여, 여러 가지 안전 기능 이 갖추어져 있어서, 기계 가 과부하 되지 않게 하고 계속 보호 를 받는다. 그렇다. 스퍼터 소스 (sputter source) 는 일련의 작은 목표물이며, 다양한 재료로 만들어졌으며, 전기 방전이 적용됩니다. 이 방전은 물리적 스퍼터링 (sputtering) 을 유발하며, 치료되는 기질에 입자를 증착시키는 과정을 담당한다. 제어 장치 (Control Unit) 는 디지털 컴퓨터로, 다른 컴포넌트의 작동을 제어하기 위해 특정 명령으로 프로그래밍됩니다. 프로세스에 영향을 미치는 전압, 전류, 스퍼터링 시간 (sputtering time) 및 기타 매개변수를 설정할 수 있으며 향후 실행을 위해 이러한 매개변수를 반복하도록 프로그래밍할 수 있습니다. 또한 원격 컴퓨터에 연결하여 이 툴을 모니터링하고 원격 제어합니다. 전체적으로 3180은 안정적이고 효과적인 스퍼터링 자산입니다. 견고한 챔버 (Chamber), 강력한 전원 공급 장치 (Power Supply), 정교한 디지털 제어 장치 (Digital Control Unit) 를 갖춘 이 모델은 업계 및 연구 응용프로그램에 적합한 선택입니다. 사용 가능한 다양한 스퍼터 소스 (sputter source) 를 통해 기판에 거의 모든 재료를 예치할 수 있으며, 이는 다양한 요구에 적응할 수있는 유연성을 제공합니다.