판매용 중고 VARIAN 3180 #9198797

바리안 3180 (VARIAN 3180) 은 중대형 연구 개발 노력과 상용 어플리케이션에 사용하기 위해 특별히 설계된 고성능 스퍼터링 장비입니다. 이 시스템에는 이온 소스, 진공 펌프, 컨트롤러, 전원 공급 장치 및 로봇 암이있는 기판 홀더가 포함됩니다. 이 장치의 이온 소스 (ion source) 는 챔버에 높은 진공을 생성하고 많은 수의 질소 이온을 생성하도록 설계되었습니다. 이온 소스는 또한 양성 및/또는 음성 이온을 생성 할 수있다. 진공 "펌프 '는 약실 의 압력 을 유지 하고 기판" 펌프' 의 압력 을 감소 시키는 데 사용 된다. 컨트롤러는 시스템의 압력, 전류 및 기타 매개변수를 제어하는 데 사용됩니다. 3180은 또한 최대 8kW의 RF 전력과 최대 400 ~ 600W의 DC 전원을 공급할 수 있는 고압 전원 공급 장치를 갖추고 있습니다. "에너지 '공급 은" 스퍼터링' 과정 을 촉진 시키는 전기장 을 조성 하는 데 사용 된다. 기판 홀더는 회전 가능한 암으로, 최대 4 개의 기질을 수용할 수 있으며, 기질에서 기질까지의 스퍼터링을 위해 주위를 이동할 수 있습니다. "로봇 '암 을" 프로그램' 하여 여러 가지 "스퍼터링 '기법 을 위해 약실 내부 의 다른 위치 로 기판 을 이동 시킬 수 도 있다. 전반적으로 VARIAN 3180 은 중간 규모, 대규모 연구/개발 노력과 상용 애플리케이션을 위한 안정적이고 효율성이 높은 툴입니다. 이 자산은 다양한 스퍼터링 (sputtering) 기술을 제공하며 다양한 기판 및 재료를 처리 할 수 있습니다. 높은 전원 공급 장치 (High Power Supply) 는 일관되고 안정적인 결과를 보장하며, 컨트롤러는 스퍼터링 프로세스를 단순하고 간단하게 만듭니다.