판매용 중고 VARIAN 3180 #9131926

VARIAN 3180 스퍼터링 장비는 금속, 합금 및 절연 박막 증착을위한 다용도 도구입니다. 정전 식 마그네트론 스퍼터링 (magnetron sputtering) 을 사용하며 균일 및 이산 필름 성장을 위해 최대 3 마그네트론의 독립적 인 프로세스 제어를 갖추고 있습니다. 3 축 로봇 자동화는 기판 크기에서 최대 8 인치까지 전체 샘플 액세스를 허용합니다. 3180 시스템은 수동 또는 컴퓨터로 제어하여 다양한 재료를 배치 할 수 있습니다. 이 장치는 RF 전원 공급 장치 및 스퍼터 건 어셈블리를위한 듀얼 챔버 설계를 제공합니다. 최대 3.0kW의 RF 에너지를 사용하여 매우 두꺼운 필름을 증착 할 수 있습니다. VARIAN 3180은 또한 다층 구조를 만들기 위해 무제한의 혼합물 선택 및 독립적 인 스퍼터 속도를 갖습니다. 고급 공정 제어 기술에는 반응성 스퍼터링을위한 가스 블렌딩 머신이 포함됩니다. 매우 정확한 압력 제어는 균일하고 빠른 미디어 전달을 보장합니다. 3180은 패턴 증착뿐만 아니라 대량 증착이 가능합니다. 디지털 프로그래밍 가능한 첨부에 의해 조리개를 세밀하게 제어 할 수 있습니다. 퇴적을위한 더 나은 표본 표면 조건을 제공하기 위해 통합 된 사전 청소 시설이 있습니다. 진공 연동 도구는 압력 조절 및 진공 감지 기능을 제공합니다. VARIAN 3180에는 비상 사태의 경우 온보드 전원 장애 자산도 있습니다. 3180은 뛰어난 필름 균일성, 내장 필름 디웨팅 (dewetting) 및 부드러운 필름 프로파일로 강화 된 뛰어난 스텝 커버리지와 같은 많은 장점을 가지고 있습니다. 그 견고 한 구조 는 여러 해 에 걸친 내구성 을 보장 해 주며, 정밀 한 조절 을 통해 매우 내성적 인 "필름 '층 을 퇴적 시킬 수 있다. 운영 모델은 사용자 친화적이며, 장비 상태와 필름 증착 프로세스 (film deposition process) 에 대한 정확한 피드백을 제공합니다. 또한 다양한 데이터 로깅 (data logging) 기능을 통해 스퍼터링 프로세스의 진행 상황을 모니터링할 수 있습니다. 결론적으로, VARIAN 3180 스퍼터링 시스템은 박막 증착 (thin film deposition) 을위한 강력한 도구이며, 고급 프로세스 제어 기술과 다용도 설계가 있습니다. 뛰어난 영화 균일성, 내구성, 사용자 친화적 인 인터페이스를 갖추고 있어 나노 기술 산업 (nanotechnology industry) 및 기타 관련 분야의 사용자에게 매력적입니다.