판매용 중고 VARIAN 3180 #9105796

ID: 9105796
웨이퍼 크기: 4"
Sputtering system, 4" CTI8 Cryo pump included.
VARIAN 3180은 정밀 증착 공정 (precision deposition process) 을 위해 설계된 고급 스퍼터링 장비입니다. 이 시스템은 업계에서 가장 많이 사용되며 최상위 (top-of-the-line) 기능을 제공합니다. 이 제품은 높은 수준의 증착 (high rate deposition), 정확한 프로세스 조건에 대한 뛰어난 제어, 다양한 애플리케이션에 필요한 유연성을 갖추고 있습니다. 3180은 단일 챔버, 이중 대상, 회전 가능한 음극 스퍼터링 장치를 제공합니다. 이 스퍼터링 머신 (Sputtering Machine) 에는 고급 수준의 기능이 장착되어 있어 안정적이고 일관된 증착을 보장하는 높은 정밀도를 제공합니다. 프로세스 매개 변수를 정확하게 제어하여 사용자는 증착율, 가스 압력, 마그네트론 크기, 가스 흐름, 전압/전력을 정확하게 조정할 수 있습니다. 이렇게 하면 각 개별 응용 프로그램에 대해 필요에 따라 프로세스 매개변수 (process parameter) 를 조정할 수 있으므로 매번 품질 (quality) 결과를 전달할 수 있습니다. 이 도구는 또한 최첨단 도량형 장비를 갖추고 있어 안정적이고 정확한 증착 결과를 보장합니다. 여기에는 광 가열/냉각 장치, 중앙 이온 총, 온도 및 흐름 제어를 모두 갖춘 기본 압력 게이지가 포함됩니다. 필름 두께의 정확한 도량형을위한 초정밀 레이저 광도계도 포함됩니다. 이는 환경과 기판에 관계없이 일관된 증착 결과를 보장합니다. 또한 VARIAN 3180이 제공하는 유연성 수준은 타의 추종을 불허합니다. 금속, 세라믹, 폴리머 및 유리를 포함한 많은 기판과 호환됩니다. 이러한 유연성을 통해 사용자는 해당 응용 프로그램에 적합한 재료를 선택할 수 있으며, 이렇게 하면 배치 (deposition) 프로세스가 원하는 결과를 얻을 수 있습니다. 또한, 챔버 (chamber) 는 균일 한 생산 환경과 증착 부위에 대한 지속적인 압력을 제공하도록 설계되었습니다. 전체적으로 3180 개의 스퍼터링 (sputtering) 자산은 고급 기능과 기능을 제공하여 반도체 컨택트, 박막 트랜지스터, 광학 디스플레이, 센서에 이르기까지 다양한 어플리케이션에 적합합니다. 최상위 정밀 제어, 유연성, 정밀 도량형 장비는 다양한 증착 공정에 적합한 선택입니다.
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