판매용 중고 VARIAN 3180 #9077094

VARIAN 3180은 초고순도 및 반복 가능한 결과를 위해 설계된 고성능 스퍼터링 장비입니다. 탁월한 프로세스 제어 및 가동 시간을 제공하는 컴팩트하고, 안정적이며, 견고한 시스템입니다. 이 장치는 3 개의 독립적 인 소스, 3 개의 대상, 중주파 구동 스퍼터링 챔버, 독립적 인 트윈 타겟, 저주파 구동 스퍼터링 챔버 및 제어 및 전원 공급 장치로 구성됩니다. 독립적 인 트윈-대상 스퍼터링 머신 (twin-target sputtering machine) 은 기판에서 얇은 금속 필름을 증착시키는 데 최적의 프로세스 제어 및 우수한 균일 성을 제공합니다. 저주파 전력 및 제어 장치 (Low-Frequency Power and Control Unit) 는 일관된 증착을 달성하는 데 필요한 매개변수를 정확하게 제어합니다. 3 개 대상 구성은 탁월한 균일성을 가진 멀티 레이어 금속 (multi-layer metal) 및 컬름 (culm) 증착을 허용하는 반면, 독립 스퍼터링 챔버는 응용 프로그램 특정 기능 측면에서 유연성을 제공합니다. 3180의 전원은 mid-frequency AC 소스로, 일반적인 저주파 DC 소스보다 더 높은 전력과 균일성을 제공합니다. 3 개 대상 구성 (three-target configuration) 은 타겟 파워에 대한 최대의 제어를 제공하여 각 타겟에서 필름 특성을 정확하게 조정하여 반복 가능성과 프로세스 제어를 제공합니다. 챔버 자체는 독특한 세라믹 월 라이너 (ceramic wall-liner) 기술을 제공하여 전체 표면에서 균일 한 증착을 보장하여 탁월한 균일성을 제공합니다. 이 디자인은 또한 입자의 간섭을 제거하여 균일 성을 높입니다. 제어 및 전원 공급 장치를 통해 업계 표준, 사용자 친화적 프로세스 제어를 통해 일관성 있고 균일한 필름 증착 및 반복성을 보장합니다. 이 장치는 또한 포괄적인 안전 (Safety) 기능과 포괄적인 진단 및 프로세스 모니터링 기능을 갖추고 있습니다. VARIAN 3180 은 가장 높은 수준의 프로세스 제어 및 가동 시간을 제공하는 높은 신뢰성, 다양한 툴입니다. 신뢰할 수 있고, 반복 가능하며, 신뢰할 수있는 스퍼터 증착 자산으로, 뛰어난 프로세스 제어와 단순성을 제공합니다. 박막 증착에 이상적이며, 소규모, 대규모 생산 응용프로그램에 적합합니다.