판매용 중고 VARIAN 3180 #9036780

VARIAN 3180 스퍼터링 장비는 PVD (physical vapor deposition) 프로세스에 사용되는 고급 장비입니다. 진공 환경 (vacuum environment) 의 다양한 기판에 매우 얇은 전도성 물질 필름을 생성 할 수있는 멀티 음극 시스템입니다. 이 장치에는 초고진공 압력 (UHVP) 챔버, 선형 드라이브 및 증착 매개변수를 정확하게 제어하는 셔터 어셈블리가 장착되어 있습니다. 3180은 AC 및 DC 전원 모드를 모두 제공하여 다른 조건에서 다양한 재료를 효율적으로 증착 할 수 있습니다. 이 기계는 다양한 전원 공급 장치를 장착하여 병렬 (parallel) 또는 순차 (sequential) 음극 사용과 레이어 두께를 정확하게 제어할 수 있습니다. 증착실 (deposition chamber), 이전에 언급 된 셔터 (shutter) 및 선형 드라이브를 포함한 하위 시스템을 개별적으로 제어 할 수 있으므로 PVD 프로세스를 특정 요구에 맞게 조정할 수 있습니다. 60 ~ 10 ~ 5 torr의 고성능 압력 컨트롤러는 효율적이고 뛰어난 제어 가능한 박막 증착을 허용합니다. 대형 드라이브 (Large Drive) 는 25 ~ 500 ° C의 정확한 선형 온도 제어를 제공하여 서로 다른 재료를 효율적으로 성장시킬 수 있습니다. 음극은 주기적으로 프로그래밍 될 수 있으며, 높은 증착률을 제공 할 수있다. VARIAN 3180은 장기적이고 신뢰할 수있는 강력한 기계 설계를 갖추고 있습니다. 이 도구에는 진단 (Diagnostic) 및 테스트 (Test) 에셋과 자동 테스트 관리자 (Automatic Test Manager) 가 포함되어 있어 모델 컴포넌트의 지문 정확도를 진단할 수 있습니다. 사용자 친화적 인 소프트웨어는 다른 작업을 설정하고 프로세스를 모니터링하도록 설계되었습니다. 3180 은 매우 얇은 전도성 물질 층 을 생산 하는 효율적 이고 믿을 만한 방법 으로, 매우 정밀도 와 정확도 가 높다. UHVP 압력 제어 (UHVP Pressure Control), 선형 드라이브 (Linear Drive), 서브시스템 제어 및 모니터링 기능 등 다양한 애플리케이션에 맞게 조정할 수 있는 다양한 기능을 제공합니다. 광범위한 업계의 PVD 프로세스에 이상적인 장비입니다.