판매용 중고 VARIAN 3180 #9033671

VARIAN 3180 스퍼터링 장비는 금속의 박막을 다른 표면에 배치하는 데 사용되는 매우 높은 진공 플라즈마 응용 기계입니다. 현재 시중에서 사용 가능한 다른 스퍼터링 시스템 (Sputtering System) 보다 더 빠르고, 더 안정적이며, 일관성을 유지하는 박막 (Thin-the-Art) 머신입니다. 초고 진공 스퍼터링 시스템은 전기장을 활용하고 마그네트론 스퍼터링 (magnetron sputtering) 기술을 활용하여 초박형, 고품질 금속 필름을 다양한 재료에 배치합니다. 이 장치는 2 개의 RF 전원 공급 장치를 사용하여 필름 증착을 위해 최대 3 개의 평면 마그네트론 스퍼터 소스를 전원을 공급합니다. 3180은 또한 추가 재료 또는 다중 레이어의 증착을 위해 최대 2 개의 다이오드 소스를 수용 할 수 있습니다. 소스 자석 어셈블리 (source-magnet assembly) 는 스퍼터링 프로세스를 더 잘 제어하기 위해 진공 챔버 내에서 확장 된 자기장을 허용합니다. VARIAN 3180에는 진공실 뒤의 중앙 개방형 플랫폼에 3 인치 x 3 인치 기판 홀더가 있습니다. 이 기판 홀더를 사용하면 다양한 크기와 모양의 샘플을 배치하고, 배치할 수 있습니다. 또한 고온 기판 (high temperate substrate) 의 사용을 지원하며 기판의 크기와 모양에 맞게 사용자정의할 수 있습니다. 또한, 3180은 박막 회전기와 함께 제공되어 박막의 최적 증착을 허용합니다. VARIAN 3180은 멀티 챔버 이온 게이지 (multi-chamber ion gauge) 를 가지고 있으며, 진공의 가장 엄격한 수준에서 박막을 증착 할 수 있습니다. 저전압, 능동적으로 냉각 된 터보 분자 펌프는 5 x 10-9 torr의 기본 압력까지 진공 수준을 가져옵니다. 3180 의 자동화 제어 툴 (automation control tool) 은 프로세스 모니터링을 가능하게 하며 필요에 따라 다른 프로세스 주기를 프로그래밍할 수 있도록 합니다. 전반적으로 VARIAN 3180 (VARIAN 3180) 은 다양한 기판에 고품질의 초박형 금속 필름을 만들 수있는 고급, 신뢰할 수있는 스퍼터링 자산입니다. 정교한 진공 모델 (vacuum model) 과 자동화 컨트롤러 (automation controller) 는 빠르고 안정적인 스퍼터링 결과를 추구하는 사람들에게 이상적인 선택입니다.