판매용 중고 VARIAN 3180 #9004072

VARIAN 3180은 현대 박막 증착 응용을 위해 설계된 High Rate, Direct Current Sputter Equipment입니다. 주로 반도체, 데이터 저장, 광학 및 산업 코팅과 같은 산업에서 사용됩니다. 이 시스템은 3.4 cm3, 24 리터 진공실을 특징으로하며, 비교적 높은 처리 속도를 유지하면서 작은 평면 기판 또는 큰 원형 기판을 코팅하는 데 이상적입니다. 마그네트론 스퍼터링 소스에는 최대 1000 W/cm2의 전력 밀도로 3 개의 란타 넘 헥사 보라이드 (LaB6) 와 5 개의 텅스텐 (W) 대상이 포함되었습니다. 3180은 또한 0-1000 볼트에서 광범위한 직류 (DC) 바이어스 전압을 생성 할 수있는 전원 공급 장치 모듈을 갖추고 있습니다. 이렇게 하면 증착률, "에너지 '및 신체적 특성 과 같은 물질 증착 특성 을 정확 하게 변조 할 수 있다. 추가 보너스로, 전원 공급 장치는 저압 전력 전달을 위해 분리 가능한 Fibremate 타겟 분리 장치 (Target Release Unit) 를 제공합니다. 기계는 또한 기판 온도 제어 옵션을 특징으로합니다. 이것은 증착 중에 챔버 내에 가스 흐름 보조 균일 난방 (gas flow assisted uniform heating) 을 도입함으로써 달성된다. 균일 하고 저온 증착을 허용합니다. 최대 온도 범위는 20 'C에서 400' C로 조정할 수 있습니다. VARIAN 3180은 유지 시간, 유속, 가스 화학과 같은 증착 매개변수를 제어 할 수있는 2 개의 제어 가능한 가스 라인 입구를 제공합니다. 이 옵션을 사용하면 다양한 박막 증착 응용 프로그램에서 이 도구를 매우 다양하게 사용할 수 있습니다. 마지막으로 3180은 터치 스크린 디스플레이에서 정교한 그래픽 사용자 인터페이스 (GUI) 를 자랑합니다. 이 GUI 는 자산 성능 및 성능 지표를 실시간으로 모니터링하는 편리한 인터페이스입니다. GUI는 박막 증착 (Thin Film Deposition) 프로세스를 간소화하여 최적의 프로세스 매개변수를 쉽게 식별하도록 설계되었습니다. 전반적으로 VARIAN 3180 스퍼터 모델은 박막 증착 프로세스를 단순화하도록 설계된 다양한 기능과 옵션을 제공합니다. 정밀 DC 바이어스 전압 기능, 50W/cm2 전원 밀도, 프로그래밍 가능한 기판 온도 제어 및 강력한 사용자 인터페이스를 통해, 이 장비는 소규모 및 대규모 박막 증착 어플리케이션에 이상적인 선택입니다.